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工业显微镜奥林巴斯 OLYMPUS MX61A论述

OLYMPUSMX61A是一款专门设计的半导体显微镜，可使操作人员以正确的人体工程学姿势进行操作，有利于操作人员在长时间的工作中顺利进行检测，保证了工作的效率和产品一体化。

强大的缺陷检查能力

OLYMPUSMX61A采用了新颖的光学系统（UIS2），特别增强了明视场、暗视场的性能，从而提高了辨别和确认缺陷的能力。明视场图像的色温*佳化，实现了容易误检的中性颜色的再现，暗视场图像的亮度约提高了四倍（与本公司原有产品比较）。

观察影像实例明视场观察新暗视场观察传统的暗视场观察

提供扩展性的解决方案适应分析需求的Analysis-Engine（分析引擎）模块"显微镜控制软件"作为核心对MX61A系统全体进行控制。这个应用灵活的软件不仅能控制显微镜，还能控制数码照相机、电动载物台等外围设备。软件进一步拓展了MX61A的扩张性，满足了不断变化的分析需求。

实现对人和环境都没有危害的自动化

符合SEMI S2/S8标准

符合SEMI（Semiconductor Equipment and Materials International）S2-0706（有关**的基准），S8-0705（有关人体工程学的基准）和CE标识（欧洲强制性认证）等的国际标准。符合人体工程学和**对策等，高水准的确保了可靠性。

可选的倾斜观察筒倾斜观察筒示意图备有2种能以舒适姿势观察的倾斜镜筒。可以根据用途选择双目部倾斜角度由水平0°到42°的、变化范围大的MX-SWETTR型号，或是目视和拍摄影像可同时观察的U-SWETTR-5型号。

洁净对应的电动物镜转换器洁净对应的电动物镜转换器备有两种坚固耐用的洁净型电动物镜转换器。6孔和5孔中心补正型号的明暗视场电动物镜转换器，采用了新型马达，实现了高速安静的倍率转换。

高抗振本体高倍率观察图像示意图采用了不易受振动影响的高度刚性仪器机架。即便是高倍率观察，也不会出现影像模糊的情况。

可以触摸屏操作的手控开关手控开关操作部配备了触摸屏操作的手控开关，可以在检查时执行选择物镜和观察方法等多种操作。只要选择观察方法，就能得到基于登录条件的*合适的观察影像。自动对焦的追踪、单次拍摄的切换、对焦的细微调节、DIC延迟调节、亮度调节和交换样本时的载物台退出均可以执行。

帮助实现多种观察的附件

晶圆搬送机组合晶圆搬送机可以对应直径200 mm及以下的晶圆。新型搬送手臂的采用，实现了对90 μm极薄晶圆的搬送，能满足多种尺寸晶圆搬送的需求。

自动载物台组合自动载物台

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