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双频激光干涉仪原理
双频激光干涉仪原理
在氦氖激光器上，加上一个约0.03特斯拉的轴向磁场。由于塞曼分裂效应和频率牵引效应,激光器产生1和 2两个不同频率的**和右旋圆偏振光经1/4波片后成为两个互相垂直的线偏振光,再经分光镜分为两路。一路经偏振片1后成为含有频率为1- 2的参考光束另一路经偏振分光镜后又分为两路：一路成为仅含有1的光束,另一路成为仅含有 2的光束。当可动反射镜移动时,含有2的光束经可动反射镜反射后成为含有 2 ±Δ 的光束，Δ 是可动反射镜移动时因多普勒效应产生的附加频率,正负号表示移动方向(多普勒效应是奥地利人C.J.多普勒提出的，即波的频率在波源或接受器运动时会产生变化) 这路光束和由固定反射镜反射回来仅含有1的光的光束经偏振片2后会合成为 1-(2±Δ ）的测量光束。测量光束和上述参考光束经各自的光电转换元件、放大器、整形器后进入减法器相减,输出成为仅含有±Δ 的电脉冲信号。经可逆计数器计数后，由电子计算机进行当量换算（乘1/2激光波长）后即可得出可动反射镜的位移量。双频激光干涉仪是应用频率变化来测量位移的，这种位移信息载于1和2的频差上，对由光强变化引起的直流电平变化不敏感，所以抗干扰能力强。它常用于检定测长机、三坐标测量机、光刻机和加工中心等的坐标精度，也可用作测长机、高精度三坐标测量机等的测量系统。利用相应附件，还可进行高精度直线度测量、平面度测量和小角度测量。

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