工具显微镜测量范围：
X向行程：200㎜ 圆工作台直径：φ213㎜
Y向行程：100㎜ 平工作台尺寸（㎜）：260×270
测角目镜角度分划范围：360° 顶针间的*大夹紧长度：700㎜
螺纹轮廓目镜角度分划范围：±7° 顶针间能容纳的*大直径：φ100㎜
圆工作台角度分划范围：0°~360° 高顶针架*大夹紧长度：200㎜
圆分度头角度分划范围：0°~360° 高顶针架能容纳的*大直径：φ250㎜
主显微镜立柱的倾斜范围：±12° 干涉狭缝旋转范围：±90°
工具显微镜分度值：X、Y向分度值：0.0002㎜ 圆工作台角度分度值：30″
测角目镜角度分度值：1′ 圆分度头角度分度值：1′
轮廓目镜角度分度值：±12 主显微镜立柱倾斜角度分度值：30′
测量准确度（被测件与仪器温度差别不大于0.5℃，仪器室内温度20℃±1℃）：
（1+L/100）μm，其中L为测量长度，单位：㎜ 光学定位器的主要技术参数：
测杆垂直方向摆动范围：±3° 定位变动性：<1μm
孔径大于5㎜时，可测孔的*大深度：≈15㎜ 测力（N）：0.1±0.03
测量范围（㎜）：5-200
工具显微镜主机外形尺寸（㎜）长×宽×高=1300×1250×80
仪器主机重量：450㎏
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