德国SIKA公司的微小流量检测-超声波流量计半导体制造业、生物工程、精细化工等的兴起，使流量测量向低端延伸，小流量微小流量的需求在上世纪80～90年代凸显起来。何谓小流量？业界尚无公认的定义和界限，小流量因应用领域而异是一个模糊的概念。管道小流量测量体现于管径小和流速低两个层次，就流程工业而言，习惯上DN10甚至DN15以下管径流量测量称之小流量测量，通常其流量值液体为1L/min或0.06m3/h以下，流量仪表满度流量时的流速低于0.1m/s。传统小流量测量技术节流差压(层流)法、浮子法和容积法等有了**的改进，新测量技术如超声法、热法、科里奥利法等也有成效地应用于液体和气体小流量测量。
一，微小流量测量特征 小流量、微小流量测量很大程度是在半导体制造业需求的激发下获得发展的，从超净气体到纯水、药液的流量测量和控制。当代食品医药、精细化工及各行业试验工厂定量加液和混合配比，今后生物产业繁多其应用也促进小流量仪表的研究开发。微小流量测量与一般流量测量相比较，具有以下特点。 1. 雷诺数低2. 要用实际使用流体校准用空气校准。若知道实际测量流体与校准流体间某些物性不同对示值有规律变化时，中大管径流量仪表常以适当系数修正。但有些小流量仪表受黏度等流体物性影响大，须以实际使用流体校准。所幸流量小，用实际使用流体校准难度不大，但在作有害性流体校准时应注意**和环境污染。3. 要求测量时防止污染流体若测量洁净气体和纯水常不允许接触流体的仪表零件材料析出离子，例如半导体制备中仪表不能用金属和玻璃制成，只能用塑料。流体中也不容许混入活动件的磨蚀尘粒。流量仪表流通通道要尽可能简单，不应有潴留部位，防止潴留介质变质。4. 气泡和尘埃附着的影响因管径小黏性增加，液体中微细气泡易在管系流动过程中积聚变大，使测量时指示不稳，**度下降。流体中尘埃附着测量元件也要影响测量值，例如浮子流量计的浮子上沉积有肉眼觉察不出的附着层也会影响示值。二，微小流量测量仪表1. 差压式2. 浮子流量计3. 容积式流量计4. 热式流量计5. 超声流量计6. 科里奥利质量流量计7. 电磁流量计8. 示踪式流量计