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  • 产品名称：AEP NanoMap 1000WLI 光学轮廓仪

  • 产品型号：NanoMap 1000WLI
  • 产品厂商：其它品牌
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简单介绍：
AEP NanoMap 1000WLI 光学轮廓仪: 美国AEP 公司专注于表面测量技术开发与应用, 其生产的台阶仪和光学轮廓仪, 厚度、粗糙度、孔深 …等三维空间尺寸测量，并适用于多种产业，例如 : 芯片封装、MEMS 、电路板、 LED、LCD。同时AEP亦开发出实时应力分析及镀膜后的应力测量设备, 以满足高新行业产品微日渐小化与高精度的要求.
详情介绍：


产品简介：

美国AEP 公司专注于表面测量技术开发与应用, 其生产的台阶仪和光学轮廓仪, 厚度、粗糙度、孔深 …等三维空间尺寸测量，并适用于多种产业，例如 : 芯片封装、MEMS 、电路板、 LED、LCD。同时AEP亦开发出实时应力分析及镀膜后的应力测量设备, 以满足高新行业产品微日渐小化与高精度的要求.

NanoMap 1000WLI 光学轮廓仪(形貌仪)特点:

非接触式测量高度、深度、粗糙度等



°  高精度


°  快速测量


°  简易的操作界面


°  两种模式满足不同应用:


    Phase Shift Mode (PSI): 平滑表面测量


    White Light Scanning Mode (WLI): 粗糙表面测量


°  同时可选台阶仪和光学轮廓仪的功能，节省空间, 台阶仪更备有高精度压电陶瓷扫瞄


°  测量数据兼容功能强大的SPIP 分析软件


°  长寿命LED 光源(＞15年）


°  标配150mm 样品台, 200mm或更大可选


°  另有全自动型号



  150mm×150mm

 NanoMap 8001 大尺寸生产用


规格

RMS 重复性 

0.5 nm (WLI模式）

0.02 nm (PSI模式)

垂直分辨率

< 1 nm

视场

100 nm － 2 mm

像素

200 万

垂直扫瞄范围

*大10 mm




应用：


台阶高度


 


表面粗糙度


 


平整度/ 曲率半径


 


二维和三维形貌轮廓


 


薄膜厚度


 


二维薄膜应力测量


 

表面磨损分析、焊球凸点(Solder bump)

 




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