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产品详情
  • 产品名称:PLR3000光纤激光尺

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  • 产品厂商:中图仪器
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简单介绍:
详情介绍:
光纤激光尺是新一代高精度位置检测设备,基于激光干涉测量原理,专为超精密加工、微电子制造、光刻技术、航空航天等高要求领域设计。其突破性技术融合高稳定性氦氖激光光源与保偏光纤传输,支持单轴至多轴测量,分辨率可达10nm,线性精度高达0.2ppm,为复杂工业场景提供精准、可靠的位置反馈与控制。

PLR3000系列光纤激光尺配置高稳定氦氖激光光源,激光通过保偏光纤引导,用户可轻松将干涉仪配置到任意需要测量位置,*大限度减小阿贝误差。可根据用户需求,配置单轴、双轴以及三轴输出,轻松实现多轴测量或多自由度测量。同时提供多种干涉探头配置,用户可根据实际需求选择角锥棱镜干涉仪、平面镜干涉仪和差分干涉仪以及无内置干涉镜组的测量探头,满足用户各种复杂场景应用。

核心优势
1. 高精度
(1)分辨率10nm(可拓展),线性测量精度0.2ppm,稳频精度0.02ppm,满足纳米级测量需求。
(2)环境气象站实时补偿温度、湿度、气压对测量的影响,确保数据长期稳定。
2. 灵活配置
(1)支持单轴、双轴、三轴输出,轻松实现多自由度测量。
(2)可选差分干涉仪、平面镜干涉仪、角锥棱镜干涉仪等多种探头,适配复杂场景。
3. 高稳定性与便捷性
(1)激光光源与探头分离设计,3米铠装光纤连接,避免设备散热干扰,安装灵活。
(2)体积小巧,适配狭小空间,降低阿贝误差风险。
4. 广泛适用性
大量程4米(可拓展),支持动态速度达2m/s,覆盖从静态检测到高速运动场景。

典型应用场景
半导体制造:光刻机晶圆定位、精密工件台反馈控制。
航空航天:发动机叶片形变检测、高精度装配校准。
精密加工:数控机床多轴联动位置反馈、微机械元件测量。
科研领域:光学平台稳定性监测、超精密实验设备控制。
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