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- 产品名称: 参数分析仪
- 产品型号:4200A-SCS
- 产品展商:美国吉时利
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简单介绍
4200A-SCS参数分析仪 是一个模块化、可定制、高度一体化的参数分析仪,可同时进行电流-电压 (I-V)、电容-电压 (C-V) 和超快脉冲 I-V 电学测试。使用其可选的 4200A-CVIV 多通道开关模块,可轻松地在 I-V 和 C-V 测量之间切换,而无需重新布线或抬起探针。4200A-SCS 是*高性能的分析仪,可加快用于材料研究、半导体器件设计、工艺开发或生产的复杂器件的测试。
产品描述
Keithley 4200A-SCS 参数分析仪
测试速度提高两倍,助力探索**
4200A-SCS
是一个模块化、可定制、高度一体化的参数分析仪,可同时进行电流-电压 (I-V)、电容-电压 (C-V) 和超快脉冲 I-V 电学测试。使用其可选的
4200A-CVIV 多通道开关模块,可轻松地在 I-V 和 C-V 测量之间切换,而无需重新布线或抬起探针。4200A-SCS
是*高性能的分析仪,可加快用于材料研究、半导体器件设计、工艺开发或生产的复杂器件的测试。
功能和特点
特点
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优势
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将源测量单元、C-V
单元和超快脉冲 I-V 单元无缝结合的一体化系统
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快速、清晰和准确地执行
I-V 特性分析、交流阻抗测量、波形捕获和瞬态 I-V 测量
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Clarius™
基于 GUI 的软件,支持触摸或鼠标控制
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**测试定义、参数分析、图形绘制和自动化功能,实现清晰、**的测量和分析
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内置上下文相关的测量视频和
450 多种应用测试
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快速启动测试及提供测量帮助和故障排除向导
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I-V
源测量单元 (SMU)
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±210
V / 100 mA 或 ±210 V / 1 A 模块,100 fA 测量分辨率,以及带可选前放的 0.1 fA 测量分辨率
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C-V
多频率电容单元 (CVU)
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交流阻抗测量(C-V、C-f、C-t),1
kHz – 10 MHz 频率范围
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I-V/C-V
多通道开关模块 (CVIV)
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在
I-V 和 C-V 测量之间轻松切换或将 C-V 测量移至任何终端,而无需重新布线或抬起探针
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脉冲式
I-V 超快脉冲测量单元 (PMU)
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两个独立或同步的高速脉冲式
I-V 源和测量通道;200 MSa/s,5 ns 采样率;利用可选的前放将电流灵敏度扩大到几十皮安
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高电压脉冲发生器单元
(PGU)
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两通道高速脉冲电压源;±40
V (80 V p-p),±800 mA
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可完全定制和升级
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现在或以后均可根据需要随时添加模块
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模块
产品技术资料
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模块
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说明
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4200-BTI-A
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ULTRA FAST BTI PKG
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4200-PA
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REMOTEPREAMPLIFIER MODULE
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4200-SMU
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MEDIUM POWER SOURCE-MEASURE UNIT
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4200A-CVIV
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MULTI
SWITCH
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4210-CVU
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CAPACITANCE-VOLTAGE UNIT
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4210-SMU
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HIGH
POWER SOURCE-MEASURE UNIT
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4220-PGU
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双通道脉冲发生器
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4225-PMU
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ULTRA-FAST PULSE MEASURE UNIT
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4225-RPM
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REMOTE PREAMPLIFIER/SWITCH MODULE
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预配置系统
配置
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技术数据
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4200A-SCS-PK1
高分辨率 IV 套件
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210V/100mA,0.1 fA 分辨率用于两端或三端器件,MOSFET,CMOS 等特性分析
4200A-SCS-PK1 套件包括:
4200A-SCS 参数分析仪
(2) 4200-SMU 模块
(1) 4200-PA 前放
(1) 8101-PIV 测试夹具盒,带标准样品
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4200A-SCS-PK2
高分辨率 IV 和 CV 套件
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210V/100mA,0.1 fA 分辨率,1kHz - 10MHz 用于表征高 κ 电介质、深度亚微米 CMOS 器件
4200A-SCS-PK2 套件包括:
4200A-SCS 参数分析仪
(2) 4200-SMU 模块
(1) 4200-PA 前放
(1) 4210-CVU 电容-电压模块
(1) 8101-PIV 测试夹具盒,带标准样品
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4200A-SCS-PK3
高分辨率和高功率 IV 和 CV 套件
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210V/1A,0.1 fA 分辨率,1kHz - 10MHz 用于表征功率器件、高 κ 电介质、深度亚微米 CMOS 器件
4200A-SCS-PK3 套件包括:
4200A-SCS 参数分析仪
(2) 4200-SMU 模块
(2) 4210-SMU 模块
(1) 4200-PA 前放
(1) 4210-CVU 电容-电压模块
(1) 8101-PIV 测试夹具盒,带标准样品
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4200-BTI-A
超快 NBTI/PBTI 套件
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用于使用**硅 CMOS 技术进行的复杂 NBTI 和 PBTI 测量
4200-BTI-A 套件包括:
(1) 4225-PMU 超快 I-V 模块
(2) 4225-RPM 远程前置放大器/开关模块
自动化检定套件 (ACS) 软件
超快 BTI 测试项目模块
电缆
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