半导体紫外气体分析仪

半导体紫外气体分析仪,UV-DGA-200 半导体紫外气体分析仪可在线检测含量达到0.1ppm 检出限的氯气。本产品基于非分光色散紫外气体分析技术（NDUV）和高温型光学多返池技术，并使用低漂移、高长期稳定性的紫外 LED 光源。本产品有效光程长，可以检测微量物质，同时光源稳定，比传统脉冲光源紫外分析仪的稳定性提高一个量级，有效提升分析仪的测量下限，满足固定污染源氯气排放的检测。本产品可专门用于测量氯碱、半导体、石化、无机化工、制药、农药制造、新能源和电子等行业排放尾气中微量氯浓度的需求。本品**满足烧碱、聚氯乙烯工业污染物排放标准（GB 15581—2016 代替 GB 15581-95）、无机化学工业污染物排放标准（ GB 31573-2015）、石油化学工业污染物排放标准（GB 31571-2015）、电池工业污染物排放标准 (GB 30484-2013)、农药制造工业大气 污染物排放标准（GB 39727—2020）和制药工业大气污染物排放 标准（GB 37823—2019）等标准中对氯气排放限值的测量要求.

UV-DGA-200 是（FPI）推出的 半导体紫外（NDUV）在线气体分析仪，主打 微量氯气（Cl₂）、臭氧（O₃）、硫化氢（H₂S）、二氧化硫（SO₂） 等紫外活性气体的高精度监测，核心优势是 半导体 LED 光源 + 长光程多返池，实现 0.1ppm 级 微量检测与超高稳定性。

一、核心原理

• 光源：深紫外 LED（寿命长、低漂移、免维护）
• 光池：高温型多反射长光程池（有效光程长，提升灵敏度）
• 检测：待测气体（如 Cl₂）吸收特定紫外光 → 光强衰减 → 按朗伯 - 比尔定律计算浓度
• 优势：无运动部件、抗干扰强、响应快、长期零漂极小

二、关键特点

1. 半导体紫外 LED 光源
   • 寿命 **>5 年 **，稳定性比传统氘灯 / 脉冲光源高 10 倍
   • 低功耗、免预热、免校准，运维成本极低
2. 超高灵敏度
   • 长光程设计，Cl₂检出限达 0.1ppm
   • 适合微量泄漏、环保排放、工艺**监测
3. 高温抗冷凝
   • 光学室全程伴热（*高 180℃）
   • 防样气冷凝、防腐蚀、防吸附，适应高湿工况
4. 多组分可选
   • 标配：Cl₂（氯碱 / 化工主流）
   • 可选：O₃、H₂S、SO₂、NO₂、HCl等
5. 工业级防护
   • 防护：IP65
   • 防爆：Ex d IIC T6（危险区适用）
   • 接口：4~20mA、RS485、报警、自诊断

三、典型技术参数（Cl₂配置）

• 测量组分：Cl₂（标配），可扩展 O₃/H₂S/SO₂等
• 量程：0~10ppm / 0~100ppm / 0~1000ppm（可选）
• 检出限：≤0.1ppm
• 精度：≤±2%FS
• 重复性：≤±1%FS
• 响应时间（T90）：≤15s
• 零点漂移：≤±1%FS/7d（LED 光源优势）
• 样气条件：温度 0~180℃，压力 0.05~0.3MPa
• 防护：IP65，防爆 Ex d IIC T6

四、核心应用场景

• 氯碱 / 化工：氯气干燥、尾气排放、工艺**（防 Cl₂泄漏）
• 半导体：高浓度 O₃监测（晶圆清洗、刻蚀工艺）
• 环保：固定污染源 Cl₂/SO₂/H₂S排放连续监测（CEMS）
• 医药 / 农药：氯化反应尾气、恶臭气体（H₂S）监控
• 水处理：臭氧**浓度在线控制

五、与 OMA-3010（紫外 DOAS）对比

• UV-DGA-200：单组分微量紫外监测**，LED 长寿命、超稳定、低成本，适合Cl₂/O₃常规在线。
• OMA-3010：复杂工况双组分（Cl₂+HCl），全光谱抗干扰，适合高腐蚀、高浓度波动场景。

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