在线残余气体分析仪，ProRGA-7000 是聚光科技基于质谱分析技术平台开发的一款高性能残余气体分析仪，用于检测特定真空区域内关键气体分压，适用于真空度 10Pa 到常压应用场合。具有毫秒级响应速度和 ppb 级的灵敏度，非常适合检测真空泄露状态，如电池、半导体、冻干机等真空腔体内部特定过程相关气体的污染水平或动态波动，并及时提醒用户可能产生的潜在风险，提升产品良品率。
产品特点：
质量分析器快速扫描技术，单组分分析时间小于 0.5s
支持多个标记物同时检测，单组分检测时间小于0.5s。
可对质量数小于300amu的任意气体组分进行分析
具备自动校准功能，消除传感器运行漂移，确保长期数据 稳定性
采用高精度四极杆质量分析器，检测下限达到ppb 量级
适用于真空度10Pa到常压应用场合下ppb级残余气体分析
配置法拉第杯和电子倍增管双检测器，高低量程自 动切换
功能强大的残余气体专用分析软件，具备自动标定、数据处 理、仪器调谐和方法开发等多种功能，并集成诊断工具，随 时监控仪器及工艺参数状态
定期灵敏度自动校准，双灯丝设计及过流保护，离 子源惰性化抗污染设计，确保仪器长期可靠运行
采用模块化设计、结构简单、尺寸小巧，可以方便嵌入生产 工艺中。
ProRGA-7000在线残余气体分析仪 ProRGA-7000 是（FPI）推出的 高性能在线残余气体分析仪（Residual Gas Analyzer, RGA），属于四极杆质谱类精密仪器，专为真空腔体、密闭容器内的痕量气体成分、分压监测与泄漏检测设计，核心应用于半导体、锂电池、真空设备、科研装置等对真空洁净度、密封性要求极高的场景 一、核心定位与原理 产品定位：真空 / 密闭环境专用、ppb 级灵敏度、毫秒级响应、在线残余气体质谱 核心优势：宽真空适配（10Pa~ 常压）、痕量检测、泄漏定位、长期稳定、国产替代 工作原理：采用电子轰击离子源（EI）+ 高精度四极杆质量分析器，将真空 / 密闭环境中的气体分子电离、按质荷比（m/z）分离，精准定量 H₂、He、N₂、O₂、H₂O、CO、CO₂、Ar、碳氢化合物 等残余气体的分压，实现成分分析、污染监控、氦气检漏。 二、关键技术参数 质量范围：1 ~ 200 amu（覆盖全部常见残余气体） 检测下限：ppb 级（部分气体可达 1 ppb） 响应速度：单组分 < 0.5 秒；全谱扫描 < 5 秒 真空适配：10 Pa ~ 常压（无需高真**置，直接对接腔体） 离子源：惰性化双灯丝（冗余备份，抗污染、长寿命） 检测器：电子倍增器（EM），高灵敏度 流路接口：直接真空法兰连接（KF/NW/CF），支持多路真空腔体切换 功能模式： 全谱扫描（Scan）：定性未知气体 多组分监测（MID）：定量目标气体（*多 32 种） 氦检漏模式（He Leak）：精准定位泄漏点 分压趋势记录：长期监控污染 / 泄漏动态 通信与软件：以太网、RS485；专用 RGA 软件，支持远程监控、自动校准、智能诊断、数据溯源 设计：模块化、紧凑型、工业级防护，适应无尘车间 / 科研实验室 三、核心产品亮点 1. 超宽真空适配，直接在线集成 突破传统 RGA 仅能在 ** 高真空（<10⁻²Pa）** 工作的限制，10Pa 至常压均可稳定运行 直接法兰安装于真空腔体，无需复杂前处理，即装即用 **适配半导体腔体、锂电池注液 / 化成舱、冻干机、真空镀膜机 2. **灵敏度，捕捉 ppb 级污染 ppb 级检出限，可检测真空系统中极微量的水、氧、油蒸汽等致命污染物 提前预警腔体污染、密封圈老化、材料放气，大幅提升产品良率 满足半导体、锂电池对无氧、无水、无尘的**工艺要求 3. 秒级响应 + 氦检漏，泄漏**定位 0.5 秒响应，实时捕捉泄漏、污染突增的瞬间信号 专用氦气检漏模式，充氦后可精准定位微小漏点（漏率 < 10⁻⁹ Pa・m³/s） 解决真空设备、锂电池包、密封容器的泄漏检测、质量追溯难题 4. 智能免维护，长期无人值守 自动校准、自动调谐、故障自诊断，消除长期漂移 无载气、无耗材，维护周期 ≥ 1 年，TCO 远低于进口 5. 国产自主可控，打破垄断 100% 自主知识产权，核心部件（四极杆、检测器）自研 性能对标进口品牌（MKS、Inficon、Leybold RGA） 供货稳定、价格优、服务响应快（24 小时） 四、ProRGA-7000 vs ProMars-6000（工业在线质谱） 表格 特性 ProRGA-7000 (残余气体分析) ProMars-6000 (工业过程质谱) 核心场景 真空 / 密闭腔体、残余气体、泄漏检测 工业工艺、多流路、常量 / 痕量气体 压力适配 10 Pa ~ 常压（真空环境） 常压（工业管道 / 烟气） 灵敏度 ppb 级（超高） ppb ~ % 级（宽量程） 流路数 1~4 路（真空腔体） *多 32 路（工业工艺点） 主要功能 残余气体、分压、氦检漏、污染监控 组分分析、热值计算、工艺控制 安装 真空法兰直连 机柜 / 壁挂，配采样预处理 典型行业 半导体、锂电、真空设备、科研 钢铁、石化、煤化工、空分 五、典型应用领域 锂电池制造（核心场景） 注液 / 化成 / 封口工序：监测H₂O、O₂残余，防止电解液分解、鼓胀、短路 电池包 / 模组：氦气检漏，定位漏液、漏气隐患，保障**与寿命 半导体 / 显示面板 CVD/ALD/PVD/ 蚀刻腔体：实时监测H₂O、O₂、N₂、碳氢物，避免晶圆缺陷 真空设备维保：检漏、污染诊断、腔体清洁度验证 真空设备与制药 真空冻干机：检测硅油蒸汽泄漏，防止药品污染 真空镀膜、热处理炉：工艺气氛监控、泄漏预警 科研与航空航天 实验室真空系统、粒子加速器、卫星环境模拟舱：超高真空残余气体分析 密封器件、航天器部件：高精度检漏与质量控制 六、总结 ProRGA-7000 是真空与密闭环境分析的 “精密鹰眼”，以宽真空适配、ppb 级灵敏度、秒级响应、氦检漏、智能免维护为核心优势，精准解决半导体、锂电池、真空设备等**制造中真���污染、微小泄漏、产品良率的关键痛点。作为国产**残余气体分析仪的标杆，它是进口 RGA 的理想替代品，为中国**制造业的精密质控、自主可控提供核心支撑。 需要我根据你的真空腔体参数、目标监测气体、检漏要求、安装接口，为你定制 ProRGA-7000 的配置方案吗？