隧道扫描显微镜工作原理 扫描探针显微镜(SPM)主要包括扫描隧道显微镜(STM)和原子力显微镜(AFM)两种功能。完整的扫描探针显微镜由控制系统和显微镜系统组成。 扫描隧道显微镜的工作原理是利用电子隧道现象，将样本本身作为一具电极，另一个电极是一根非常尖锐的探针。把探针移近样本，并在两者之间加上电压， 当探针和样本表层相距只有数十埃时，由于隧道效应在探针与样本表层之间就会产生隧穿电流，并保持不变。若表层有微小起伏，那怕只有原子大小的起伏， 也将使穿电流发生成千上万倍的变化。这些信息输入电子计算机，经过处理即可在荧光屏上显示出一幅物体的三维图像。扫描隧道显微镜一般用于导体和半导体表层的测定。 原子力显微镜主要包括接近模式、非接近模式和轻敲模式。一个对力非常敏感的微悬臂，其**有一个微小的探针，当探针轻微地接近、接近或轻敲样本表层时， 由于探针**的原子与样本表层的原子之间产生极其微弱的相互作用力而使微悬臂弯曲，将微悬臂弯曲的形变信号转换成光电信号并进行放大，就可以得到原子 之间力的微弱变化的信号。