国内总代MITAKA三鹰光器非接触精密激光探针MP系列
设备尺寸(宽、深、高)
约150x200x200mm
设备重量
约 5 公斤
运动范围 (自动对焦)
10毫米
自动对焦轴刻度分辨率
0.01微米
测量原理
点自动对焦 ISO-25178-605
激光
λ = 635nm 输出,1mW 或更低