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产品简单介绍
HORIBA崛场多量程多气体数字控制器SEC-Z500X
SEC-Z500X
国内总代HORIBA崛场多量程多气体数字控制器SEC-Z500X 多量程/多气体数字质量流量控制器 这是 HORIBA *畅销的数字式质量流量控制器。它具有多量程/多气体功能,用户能够快速方便地现场更改气体类型或满量程流量。该质量流量控制器具有高精度(+/- 1.0% 设定点)、压电阀、高速响应和全金属特性,可提高制程良率,简化零件管理。支持数字/模拟、DeviceNet™ 和 EtherCAT® 通信模式。
南京供应HORIBA崛场质量流量控制器SEC-E500
SEC-E500
南京供应HORIBA崛场质量流量控制器SEC-E500这种通用质量流量控制器具有可靠的热传感器和电磁阀,可实现高水平的气流控制。作为一种多功能组件,SEC-E 系列质量流量控制器可用于各种行业。通过质量流量控制器的气流可控制在不同的流量范围内:10 SCCM 至 200 SLM。
浙江供应HORIBA崛场质量流量控制器SEC-E
SEC-E
浙江供应HORIBA崛场质量流量控制器SEC-E 这种通用质量流量控制器具有可靠的热传感器和电磁阀,可实现高水平的气流控制。作为一种多功能组件,SEC-E 系列质量流量控制器可用于各种行业。通过质量流量控制器的气流可控制在不同的流量范围内:10 SCCM 至 200 SLM。
HORIBA崛场数字式液体质量流量控制器LV-F
LV-F
HORIBA崛场数字式液体质量流量控制器LV-F 数字式液体质量流量计/控制器 LF-F 和 LV-F 系列数字式液体质量流量控制器采用珀尔帖元件冷却液体,而非更常见的热交换方法。该技术消除了低沸点化学物质沸腾的风险,从而实现更**的化学控制。
HORIBA崛场数字式液体质量流量控制器LF-F
LF-F
HORIBA崛场数字式液体质量流量控制器LF-F数字式液体质量流量计/控制器 LF-F 和 LV-F 系列数字式液体质量流量控制器采用珀尔帖元件冷却液体,而非更常见的热交换方法。该技术消除了低沸点化学物质沸腾的风险,从而实现更**的化学控制。
总代HORIBA崛场半导体质量流量控制器SEC-400
SEC-400
总代HORIBA崛场半导体质量流量控制器SEC-400 质量流量控制器SEC-400 系列质量流量控制器广泛应用于全球各行业和市场。该控制器装有热力阀,提供可靠的控制能力。
HORIBA崛场压力补偿质量流量控制器SEC-Z700X
SEC-Z700X
总代HORIBA崛场压力补偿质量流量控制器SEC-Z700XSEC-Z700X 系列配备了可靠的热传感器和压力补偿功能,可实现稳定的流量控制。集成压力测量降低了气体输送系统的成本、尺寸和复杂性。压力补偿新功能简化了供气系统。典型的多腔室气体管线具有管线调节器、压力传感器和过滤器,以避免由压力波动引起的质量流量控制器串扰现象。SEC-Z700X 系列可以不受上流和下流压力的影响,提供稳定的流量控制。提供流量输出、温度和压力读数。
HORIBA崛场高温数字式质量流量控制器SEC-8000 F/D/E
SEC-8000 F/D/E
HORIBA崛场高温数字式质量流量控制器SEC-8000 F/D/E SEC-8000F/D/E 系列可在 15℃ 至 120℃ 的高温环境下工作,用于半导体和化合物半导体加工在内的各种工作任务。
苏州HORIBA崛场数字式质量流量控制器SEC-N100
SEC-N100
总代苏州HORIBA崛场数字式质量流量控制器SEC-N100 SEC-N100 系列适用于各种行业和应用。该质量流量控制器可以控制不同范围的流量:10 SCCM 至 1000 SLM。SEC-N100 系列还支持各种通信模式,即数字/模拟、DeviceNet™、CC-Link™ 、PROFIBUS™ 和 EtherCAT® 。SEC-N100 系列提供高精度(+/- 1.0% 设定点 *1)和高速响应。该质量流量控制器还具有多气体/多量程功能,可降低制程成本。
江苏HORIBA崛场半导体质量流量模块S48
S48
总代HORIBA崛场半导体质量流量模块D700MG流量控制器 高响应压力非敏感质量流量器关键的半导体制造过程不断要求**的气体流量控制设备,以实现未来的**,以及**的存储和逻辑设备的实验室到工厂的过渡。HORIBA公司提出了新的基于压力的MFC D700MG, D500MG的上部兼容型号,以支持客户的挑战。
南京HORIBA崛场半导体质量流量模块D700T
D700T
总代HORIBA崛场半导体质量流量模块D700MG流量控制器 高响应压力非敏感质量流量器关键的半导体制造过程不断要求**的气体流量控制设备,以实现未来的**,以及**的存储和逻辑设备的实验室到工厂的过渡。HORIBA公司提出了新的基于压力的MFC D700MG, D500MG的上部兼容型号,以支持客户的挑战。
浙江HORIBA崛场半导体热式气体分流器FS-3000
FS-3000
浙江区域供应HORIBA崛场半导体热式气体分流器FS-3000FS-3000 结合了 HORIBA STEC 质量流量控制器(MFC)和 MuCube(主控制器)的功能。通过配备 HORIBA STEC 专有控制算法的 MuCube 控制 MFC,FS-3000 实现了稳定的分流控制。
HORIBA新型压力补偿质量流量控制器SEC-Z700S
SEC-Z700S
国内总代HORIBA新型压力补偿质量流量控制器SEC-Z700S。 SEC-Z700S 系列配备了新开发的热传感器和压力补偿功能,可实现稳定的流量控制。集成压力测量功能降低了气体输送系统的成本、尺寸和复杂性。新功能简化了供气系统。典型的多腔室气体管线具有管线调节器、压力传感器和过滤器,以避免由压力波动引起的质量流量控制器串扰现象。
苏州HORIBA崛场宽范围压敏质量流量计D700WR
D700WR
苏州区域总代HORIBA崛场宽范围压敏质量流量计D700WR 半导体流量控制安装了一个新的节流器,专为大范围控制应用设计,基于 CRITERION™ 技术,具有高精度性能。D700WR 可将流量控制在全量程范围的 0.1%,帮助用户优化气体输送系统的灵活性。例如,如果系统安装了多个 MFC 用于高、低流量控制,用户可以减少 MFC 的数量,在同一位置使用另一个 MFC 用于不同的目的。
江苏HORIBA崛场紧凑型质量流量控制器DZ-100
DZ-100
江苏区域供应HORIBA崛场紧凑型质量流量控制器DZ-100半导体DZ-100 继承了 HORIBA STEC 公司 MFC D500 所采用的相同标准技术 — 粘性层流范围压差检测系统。该技术实现对各种气体的质量流量进行高精度控制。与 D500 一样,用户可配置 DZ-100,支持多量程和多气体应用。MFC 设计紧凑,减少了内部气流通道占用的内部体积,同时采用优化控制算法改善了响应特性。该设备使用处理能力较高的紧凑型中央处理器(CPU)。
总代HORIBA崛场半导体质量流量模块D700MG
D700MG
总代HORIBA崛场半导体质量流量模块D700MG流量控制器 高响应压力非敏感质量流量器关键的半导体制造过程不断要求**的气体流量控制设备,以实现未来的**,以及**的存储和逻辑设备的实验室到工厂的过渡。HORIBA公司提出了新的基于压力的MFC D700MG, D500MG的上部兼容型号,以支持客户的挑战。
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