samco inc. - サムコ株式会社
samco inc. - サムコ株式会社以“用薄膜技术为世界产业科学做出贡献”为经营理念，以重视创造性、采用直销体制、积极认识事业在社会中发挥的作用为经营方针，开展事业。
以化合物半导体为中心的光电子领域、高频器件领域、电子零件领域为中心，进一步扩大面向生产用途的装置的销售，向以中国市场为首的海外市场积极展开。
在京都的研究开发中心和美国硅谷的奥普托菲尔姆斯研究所进行研究开发。其中，我们将尽快启动与薄膜事业相关的新事业、新领域，为社会做出贡献。
samco inc. - サムコ株式会社半导体制造装置入门 什么是半导体 所谓化合物半导体 二极管 晶体管，晶体管 集成电路 节能贡献 半导体制造装置 关于装置 所谓半导体制造装置 什么是CVD装置 所谓干蚀刻装置 所谓干洗装置 高性能化等离子清洁器 什么是真空 了解真空 真空的必要性 真空测量 真空容器从大气受到力 真空压力与气体容积的关系 什么是等离子体 什么是等离子体 身边的等离子 将等离子体运用于技术 请看用武士制造的半导体制造装置。 CVD装置 进行防水、绝缘等处理 干法刻蚀装置 进行精密的加工 干洗装置 污染并清洗表面
Samco的ICP蚀刻系统的优点。
SiC功率器件、GaN射频器件、MicroLEDs、激光二极管、GaAs VCSEL、SAW/BAW滤波器、电容器、MEMS器件等**技术，在未来的十年中被赋予了更多的期待。作为此类器件材料的化合物半导体的微细加工需要高精度的干式等离子体蚀刻工艺。Samco先进的电感耦合等离子体(ICP)蚀刻系统非常熟悉化合物半导体器件的加工。ICP蚀刻系统的等离子体密度是传统的电容耦合等离子体反应离子蚀刻（CCP-RIE）系统的1000倍。它们能够实现更广泛的工艺。然而，要在ICP蚀刻系统中获得均匀的等离子体并不容易。Samco公司开发了具有三维结构的ICP线圈 "Tornado ICP™"，它能够形成高度均匀的等离子体。 为了提高Tornado ICP™的可靠性和性能，Samco进行了电磁场模拟。通过这些模拟，我们找出了实现*佳均匀性的*佳配置。Tornado ICP™蚀刻系统不仅在化合物半导体上，而且在硅和金属薄膜上也实现了高度均匀、高速、高长宽比的蚀刻，被各行业的许多工厂和研究室所使用。