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技术文章

RKC理化工业主要有应用于半导体行业的产品

理化工业株式会社(rkc)在工业控制仪器领域以其独特的科研以其的科研与开发为先导,使公司的规模不断地发展壮大。rkc早期生产电子管控制器,随后又开发出了晶体管控制器、节能型控制器等众多产品。这些产品在相应的历史时期中均受到了广大用户的欢迎与认可。rkc为适应新的市场需求,开发出了以微机为基础的多功能控制器,它是中、小型一起、设备中的基本器材。rkc正在开发有销售跨世纪的控制设备。
rkc的控制技术早源于塑料工业,而现在rkc的产品在科技设备、半导体制造业、空调、纺织工业、食品工业、汽车制造、橡胶工业、电缆电线工业等众多领域中均赢得了极高的赞誉。
rkc的控制技术早源于塑料工业,而现在rkc的产品在科技设备、半导体制造业、空调、纺织工业、食品工业、汽车制造、橡胶工业、电缆电线工业等众多领域中均赢得了极高的赞誉。除传统单回路控制器外,rkc还开发推出了温度、湿度、程序以及工厂整体控制的综合控制系统以满足新的市场需求。
rkc根据日益变化的市场需求,现已由温度控制器扩展为综合性控制设备。rkc推出的高科技产品中,引入了微处理机和主机数字接口等技术,使其产品在工厂自动化中起到了非常重要的作用


灯退火等高速升温控制


高速升温时使用高速采样的控制器和快速响应调节器

>>优点介绍


  • 用高速升温的温度控制可以抑制超调,提高生产性。


典型对应机器

数字显示控制器(过程/温度控制器)
FZ110 / FZ400 / FZ900

  • 测量精度:显示值的±0.1%
  • 取样周期:0.05秒
  • 11段5位数字显示
  • 对应前面专用通信
  • 2输入功能(FZ400/FZ900)
  • 插件构造(FZ400/FZ900)

功率调节器
THV

利用4~20mA等模拟量信号,连续,精密地控制加热器功率供给的设备。可以选择控制电压波形的相位控制方式,或者控制电源周期,低干扰的零交叉控制方式。
相位控制方式,有软启动功能可以控制浪涌电流较大的加热器或者变压器一次侧。



扩散炉的串级温度控制


希望温度控制的部分和热源之间有较大时间滞后时,采用串级温度控制。一次控制器(主)的控制输出,输入给二次控制器(从)。二次控制器,利用一次控制器的输出不断修正温度设定值,进行热源温度控制。 用1台FZ400 / FZ900可以实现串级控制。






>>优点介绍


  • 可以抑制有时间滞后的控制系统的超调
  • 一台FZ400 / FZ900可以实现串级控制


典型对应机器

数字显示控制器(过程/温度控制器)
FZ(FZ400/FZ900)

  • 测量精度:显示值的±0.1%
  • 取样周期:0.05秒
  • 11段5位数字显示
  • 对应前面专用通信
  • 2输入功能(FZ400/FZ900)
  • 插件构造(FZ400/FZ900)

単相電力調整器
THV

利用4~20mA等模拟量信号,连续,精密地控制加热器功率供给的设备。可以选择控制电压波形的相位控制方式,或者控制电源周期,低干扰的零交叉控制方式。相位控制方式,有软启动功能可以控制浪涌电流较大的加热器或者变压器一次侧。




OLED/LCD大型烧结炉用多点温度控制

OLED/LCD面板烧结工序中,面板大型化导致烧成炉的温度控制点数增加。用模块控制器可以构筑小型多点温度控制。



优点介绍

  • 显示和操作集中在触摸屏上,可以构筑容易管理的控制系统
  • 电源和通信线集成在连接器中能节省连接线



典型对应机器

系统控制器的工程设计
(触摸屏+PLC)

  • 多点温度控制的监视,操作集成在触摸屏上,可以构筑容易管理的系统

※可以支持包括PLC在内整体设备的系统构筑

模块型控制器(过程/温度控制器)
SRZ

  • 测量精度:显示值的±0.2%
  • 取样周期:0.25秒
  • 1台能控制4通道
  • 对应前面专用通信
  • 插件构造
  • 提供数字输入输出·CT输入模块
  • 能连接各种现场总线的通信变换器



湿式处理站药液的温度,液位管理

在半导体制造的刻蚀,清洗工艺中高腐蚀性 药液被使用。药液的温度,液面的液位测量时高耐蚀性的传感器被使用




>>优点介绍


 

  • 可以测量腐蚀应药液的温度,液面的液位,液位检测


典型对应机器

PFA包皮温度传感器
FR-100(铂电阻)/ FT-100(热电偶)

铂电阻或者热电偶的PFA管包覆对应药液温度传感器。电线也被PFA管包覆实现优良的耐蚀性。

※照片是FR-100

背压式液位计
LE100 / LE110

  • 用1根导管测量液位和输出8点液位警报
  • 导管上的附着物等不影响测量精度
  • 配备比重补偿功能(不需要实际液体)和一键式空载调整功能
  • 除液位计之外,可用作夜量计和压力计
  • LE110在氛围气压变动的环境也可以测量

数字显示控制器(温度控制器)
RS系列(RS100 / RS400)

  • 测量精度:显示值的±0.2%
  • 取样周期:0.25秒
  • 插件构造



测量烧结,接着玻璃基板时的温度分布


通过测量烧结,接着时玻璃基板的温度分布,或者粘合玻璃基板的温度,可以核实收集温度曲线或者获得*适温度




>优点介绍


  • 瞬间实时测量温度分布,*适于收集温度曲线


典型对应机器

粘贴型温度传感器
ST-50

  • 粘贴在微小表面上即可容易测量温度
  • 优良的响应性能*适合于采集温度数据
  • *适合于测量夹层温度的前端剥出型



验证功率模块的散热设计


测量半导体功率模块实际使用时的温度可以实现以零件为单位的温度测量。可以容易测量微小零件的温度。





>>优点介绍


  • 可以测量微小零件的温度,验证散热设计。





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