海克斯康HEXAGON XPERT系列是专为计量实验室和制造领域研发的超高精度三坐标测量机，代表了当代坐标测量技术的超高水平。该产品基于ISO 10360-8国际标准开发，通过德国PTB认证，能够满足VDI/VDE 2617*高精度等级要求，是精密制造领域计的量基准设备。
精密机械系统
采用天然花岗岩基座与精密陶瓷导轨组合，热膨胀系数低至0.8×10⁻⁶/K
ULTRA-DAMP静音减震机构，可将环境振动影响降低90%以上
纳米级分辨率光栅系统，分辨率达0.001μm，重复定位精度优于0.3μm
智能控制系统
CERTO-ULTRA多核并行控制系统，采样频率高达1000Hz
自适应温度补偿算法，实时修正环境温度变化带来的测量误差
智能碰撞防护系统，可检测0.1N级别的异常接触力
测量软件平台
标配METROSOFT Ultra专业计量软件，支持PMI全尺寸自动评价
内置132种国际/行业标准评价规范数据库
支持点云数据处理与CAD数模对比分析
项目
技术指标
*大允许误差(MPEE)
0.5μm+L/500μm
单轴重复性
≤0.3μm
空间探测误差
小于等于0.8μm
温度稳定性
±0.1℃/m
*大测量速度
300mm/s
精密光学元件检测
可测量直径0.1mm的微型透镜曲率半径
非球面光学元件面形精度评价
自由曲面光学器件逆向工程
半导体制造领域
光刻机零部件形位公差检测
晶圆载具平面度测量
蚀刻模具三维轮廓分析
计量标准器检定
标准环规/塞规尺寸溯源
多齿分度台角度基准校准
激光干涉仪反射镜面形检测
提供完整的计量解决方案，包含：
现场安装调试与CMM认证服务
年度精度校准与维护保养
操作人员专业培训课程
24小时远程技术支持