紧凑型氙短弧灯是一种具有极高亮度和从紫外线到红外线区域的宽连续光谱的光源，发出的光谱几乎与自然太阳光相同。该光源采用特殊电极，实现长寿命和高稳定性。用作半导体行业晶圆检查和化学分析设备的光源。也用于小型照明。