中国总代理进口日本FLUORO福乐伯努利卡盘非接触式BC系列

适用晶圆尺寸	代码号	气压（MPa）	质量（克）
2英寸	BC-K2	0.1	50
3英寸	BC-K3	0.1	70
4英寸	BC-K4	0.15	80
5英寸	BC-K5	0.15	100
6寸	BC-K6	0.15	120
8寸	BC-K8	0.2	170

适用晶圆尺寸	代码号	气压（MPa）	质量（克）
6寸	BC-K6-300	0.15	170
8寸	BC-K8-300	0.2	220
12寸	BC-K12-300	0.35	第430章

适用晶圆尺寸	代码号	气压（MPa）	质量（克）
6寸	BC-P6-300	0.15	180
8寸	BC-P8-300	0.2	240
12寸	BC-P12-300	0.35	450

这是根据客户规格定制的产品。
新开发的**吸附部分采用抗静电塑料制成，通过精密加工打造出吸附效率*高的结构。
当气体从垫表面的注入孔注入时，工件被气体的粘性向上拉，由于伯努利效应而产生吸附力。利用这一优势的革命性产品是桌面伯努利系统。

低压空气从垫板表面具有仰角的小直径孔注入，当其接近工件时，工件被伯努利效应拉起并吸引。非接触式运输可以在不损坏工件的情况下运输工件。（压力50kPa，流量4.5升）
操作部分为小型笔式气阀（使用C001），用笔触摸即可轻松操作。

使用材料

（体积电阻值106Ω）

产品目录