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无尘室设备的构成是由下列各项系统所组成(在所组成的系统分子中是缺一不可的)，否则将无法构成一完整且品质良好的洁净室。

(1)天花板系统：包括吊杆(Ceiling rod)、钢梁(I-Beam或U-Beam)、天花板格子梁(Ceiling grid或Ceilingframe)。

(2)空调系统：包括空气舱、过滤器系统、风车等。

(3)隔墙板(Partitional wall)：包括窗户、门。

(4)地板：包括高架地板或防静电舒美地板。

(5)照明器具：包括日光灯、黄色灯管等。

无尘室设备之建筑主体构造，一般是用钢筋或骨水泥，但无论是何种构造，必须满足如下之条件：

(1)不会因温度变化与振动而发生裂痕。

(2)不易产生微尘粒子，且很难附着粒子。

(3)吸湿性小。

(4)为了维持室内之湿度条件，热绝缘性要高。

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