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无尘室的特性
无尘室的特性为以下五项:
(l)耐久性;(2)成本; (3)适应性; (4)可维护性;(5)清洗 。
(1) 耐久性:
无尘室要有符合环境、无尘室内部的清洗溶液及振动、设备、空气过滤系统的耐久材料。而耐久性,同时也依赖无尘室等级来建造。半导体 Fabs 倾向选择铝,基于它的耐久性,然而,它不是便宜的物质。
(2) 清洗:
在制药和生物工学工业,无尘室的墙壁需要有容易被清洗和擦拭,直到防止滤过性病毒或**的污染之特性。在 biotech 市场,清洗真正地是一个*重要的企业。
(3) 成本:
微电子 C/R 建设费可能花费到亿。fab 能更快的被建造起来,产品也就能更快达到这市场。 许多半导体公司的口号是较便宜和较好的。然而 "钱" 将成为一个很重要的考虑因素。
(4) 适应性:
一些厂商认为适应性可节省一笔**,而适应性意指系统可任意移动或改变而不会招**大的损失。C/R 的拥有者和设计者的能力为改变一 C/R的关键,所以他们从不将*初的设计定型。
(5) 维护性:
对无尘室 C/R 而言,较严格要求的部分为地板、天花板,以及墙壁的部分。 至于维修的问题,对材料的选择是否容易清洁性及维修性都应有其优先级。在应用力面、天花板、地板及墙壁三者之中*重要的为天花板,其包含 HEPA 及 ULPA 等滤网,其可过滤掉房间的微粒子,且其常会因各个不同的需要,便其分开来,供应各个不同区域的小房间,曾有人说 :若建造之预算因某种原因被限制,除了少数的小钱外,其天花板将趋于更贵的地步,其实天花板是一个颇复杂的系统其必须严格地过滤粒子,故其设计必须**。
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