TOKICO日本原装｜FUBB3A-KW超声波流量计，稳定可靠更省心

核心定位：面向半导体、化工等高洁净 / 强腐蚀工况的高精度、无压损、长寿命液体流量测量方案，采用超声检测卡门涡频率原理，全树脂耐腐结构，适配严苛工业环境。

一、产品核心特性

1、高精度测量：测量精度达±1%读值，量程覆盖10mL/min至80L/min，可同时监测6条独立管线，满足半导体制造、石油化工等场景对微小流量控制的严苛需求。

2、耐腐蚀材料：接液部件采用全氟烷氧基聚合物（PFA）一体成型工艺，分子结构中的全氟碳链赋予其**的耐化学性，可稳定测量化学液体、腐蚀性流体及超纯水。实验数据显示，PFA接液部在260℃高温环境下仍能保持物理性能稳定，消除液体滞留风险，避免交叉污染。

3、抗干扰设计：传感器不受机械噪声（如管道振动）影响，配合双检测技术有效抑制管线振动干扰信号。在强振动环境下（如石油化工场景），测量重复性可保持在0.15%以内。

4、智能化功能

多通道同步测量：U型管状结构配合SFC4000转换器，实现六通道同步测量，适用于槽式清洗机的多槽液供给系统。

模块化适配：外夹式超声波流量计通过可拆卸夹具适配DN15-DN300管径，支持在线安装与热插拔维护，减少设备停机时间。

数据传输与远程监控：转换器可输出频率脉冲、4-20mA模拟信号，并具备RS-485接口，支持Modbus协议，传输距离达1.2km。配合数据采集器，可通过因特网或电话网络实现远程数据传输。

二、应用场景与优势

1、半导体制造

晶圆清洗环节：化学溶液的流量控制精度直接影响芯片良率。该流量计的非接触式测量与高精度特性，可确保清洗液按合适流量输送，避免微小杂质导致芯片性能下降或失效。

维护成本降低：某半导体厂商应用案例显示，采用该流量计后，清洗设备维护周期从每周1次延长至每月1次，年维护成本降低约65%。

2、石油化工

腐蚀性介质计量：适用于腐蚀性液体、高温蒸汽等介质的计量，耐化学性与抗干扰能力可满足复杂工艺流程的需求。

强振动环境稳定性：在振动环境下仍能保持高精度测量，确保工艺一致性。

3、食品医药

高洁净度介质测量：在超纯水、药液等高洁净度介质的测量中，PFA接液部与无密封件设计可避免污染风险，符合行业严格标准。

三、产品型号与规格

型号：FUBB3A-KW-ACA-TX4G

测量范围：10mL/min至80L/min

精度：±1%读值

工作温度：-20℃至260℃（PFA接液部耐温范围）

压力等级：适配管道压力需求（具体参数需结合应用场景确认）

接口类型：支持RS-485、频率脉冲、4-20mA模拟信号输出

防护等级：IP65（适应潮湿、粉尘等恶劣环境）

四、使用注意事项

●请在流量计进口侧安装长度10D以上，出口侧安装长度2D以上的直管，以防止涡流或湍流对精度的影响。

●流量计中规定的流动方向必须与流体的流动相匹配。

●请不要损坏流量计两端的管子。

●请使用指定尺寸的管子进行管道连接。

●安装位置可以是水平、垂直或对角线位置。然而，在管道的任何位置始终充满流体，在两相流(气液)或气泡混合流中将无法测量。

●本流量计具有优良的防振结构。但是，如果有剧烈的振动，请安装支架，否则可能会导致管道的损坏。