产品名称：TSI美国 不带阀的液体流量控制器

TSI美国进口 不带阀的液体流量控制器 2950-01
TSI美国进口 不带阀的液体流量控制器 2950-01

不带阀的液体流量控制器 2950
型号：2950-01MSP Turbo™ 液体流量控制器 2950 基于现场验证的技术，可与 MSP Turbo II™ 气化器配合使用，为半导体薄膜沉积工艺（包括 CVD、PECVD、ALD 和 MOCVD）提供可靠、高性能的液气输送解决方案。
产品详情
Turbo™ 液体流量控制器 2950 包含定制设计的高精度、高速流量传感器和精心设计的流量控制电子设备，可提供先进半导体加工所需的***性能。
精密流量控制
2950 LFC 集成了流量传感器和液体控制电子元件，用于调节 MSP 的 Turbo II™ 蒸发器上的压电阀。对于没有板载压电阀的蒸发器，请考虑使用 2950V 系列 Turbo™ LFC 进行有效的流量控制。
应用
半导体薄膜沉积工艺化学气相沉积 （CVD）
等离子体增强化学气相沉积 （PECVD）
Atmoic layer deposituion （ALD） （大气层沉积物 （ALD））
金属有机化学气相沉积 （MOCVD）
具有一致流速要求的应用
特性和优势
固定流量
出色的精度和线性度
超快响应时间
**的可重复性
宽流量范围选项

提供 Turbo™ LFC 型号

♦使用 TEOS 作为参比液在 23±2°C 下测定的标称*大流量。 流量范围是指定液体的函数。