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  • 产品名称:TSI美国VPG-A3 在线过滤器2920-01-5001

  • 产品型号:原装
  • 产品厂商:TSI
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简单介绍:
TSI美国VPG-A3 在线过滤器2920-01-5001
详情介绍:

TSI美国VPG-A3 在线过滤器2920-01-5001

TSI美国VPG-A3 在线过滤器2920-01-5001

VPG-A3 蒸汽工艺气体过滤器是一种超低压降、高效的在线过滤器,专为蒸汽和工艺气体过滤而设计。这款受**保护的 316L SS 过滤器具有耐化学性和耐热性,可在高达 100 SLPM 的压力下使用。该过滤器的压降极低,使其更容易在超低压环境中工作,并降低了过滤器中发生气相反应的风险。


产品详情

传统的高纯度使用点气体过滤器用于压缩气体管路中,用于去除颗粒。VPG-A3 过滤器还在真空流动条件下用于蒸发器的下游,以防止可能存在于气体/蒸汽混合物中的颗粒进入化学气相沉积 (CVD) 或原子层沉积 (ALD) 工艺室。VPG-A3 过滤器由 316L SS 烧结粉末介质制成,表面积大,使用寿命长。

应用

  • 蒸汽工艺气体
  • 超高纯气体
  • 高温
  • 惰性或反应性气体
  • 高真空和超高真空
  • 半导体制造

特性和优势

  • 316 不锈钢
  • 表面积大 – 使用寿命长
  • 使用高达 100 SLPM
  • 颗粒去除效率高
  • 超低压降
  • 1/2“ VCR 配件

受**保护的设计


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