产品名称：MIYUKI美幸辉 压力控制阀，北崎供应

MIYUKI美幸辉 压力控制阀 GAZ-C160

MIYUKI美幸辉 压力控制阀 GAZ-C160

日本 MIYUKI 美幸辉真空压力控制阀分为 BAR 伺服蝶阀、GAR 精密闸阀两大主力系列，搭配 MGCS、MS-VP 专用控制器，构成成套闭环真空稳压系统，是半导体、光学镀膜、锂电热处理、科研高真空设备核心调压元件。产品覆盖常压至 10⁻⁶Pa 宽压力区间，兼顾通断切断与连续线性调压双重功能，区别于普通仅作隔断的真空阀门。
阀体整体采用 SUS304 不锈钢，内腔镜面电解抛光，无金属摩擦滑动结构，颗粒物析出极低，适配无尘洁净制程；双层 FKM 氟橡胶密封，全通道泄漏率低至 1×10⁻¹⁰Pa・m³/s，耐高温 150℃，可长期稳定烘烤除气。阀门搭载无齿隙伺服直驱电机，标配电磁刹车，断电自动锁死开度，避免腔体泄压损坏工件，微米级开度调节让管路压力平稳无波动，控制精度可达设定值 ±0.1%。
通径覆盖 DN25 至 DN400，支持 KF 快装、JIS、ISO、CF 多类法兰标准，拆装维保简便。配套控制器搭载智能自动 PID 整定，7 组工艺参数记忆，兼容 4-20mA、0-10V 模拟信号与 RS485 通讯，可对接 PLC 实现多腔体远程集中控制，上电自动回原点，简化设备调试流程。整机运行低噪、百万次启闭长寿命，能稳定维持镀膜、晶圆刻蚀、真空烧结等工艺恒定负压，大幅提升成品良率，是**精密真空产线标准化调压解决方案。