企业信息
第10年
- 入驻时间: 2016-09-29
- 联系人:刘玉佳
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产品详情
简单介绍:
osakavacuum大阪真空节能多级干泵ER100DC,DSP系列是一款紧凑、轻便且便携的风冷干式真空泵,具备节能、低振动和低噪音能力。除了电力外,它不需要其他公共设施。助推级在内部时,基压为0.5 Pa
详情介绍:
osakavacuum大阪真空节能多级干泵ER100DC
osakavacuum大阪真空节能多级干泵ER100DC
ER系列:节能多级根泵
ER系列通过其独特的转子设计和怠速功能实现了世界**的节能和紧凑性能。凭借耐腐蚀选项,ER系列可在轻型领域如负载锁和SEM到腐蚀工艺等广泛应用中运行。
-ER100D/ER100DC在能源效率、轻便和紧凑性方面均为同级*佳之一。
极限压力下
能耗:400W
占地面积:0.11米2
重量:60公斤
- 有两种类型可供选择。
ER100D:用于轻负载、非腐蚀性气体泵送
ER100DC:采用防腐材料,用于腐蚀性气体泵送
应用
- 清洁排气
系统 - 溅射系统
- TMP
的后备真空泵 - 负载锁定与转移室
- 小型实验室系统
- 小型炉子
- 分析设备
- 离子源,电子枪
| 模型 | ER100D/ER100DC | |
| 体积流量(L/min) | 1670 | |
| 基压(Pa) | 5.0 | |
| 极限压力(W)下的能量消耗 | 400 | |
| 电源 | 电压(V) | 200-220 |
| 频率(Hz) | 50/60 | |
| 阶段 | 三相 | |
| 功率能力(kVA) | 3.2 | |
| N2气体净化通量(Pa·m3/s) | 17-20 | |
| 冷却系统 | 水冷 | |
| 所需流量(L/min) | 1.5-3.0 | |
| 所需温度(°C) | *多30人 | |
| 体重(公斤) | 60 | |
[对应气体]
某些需要抽空的气体可能会损坏泵。
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