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产品详情
  • 产品名称:日本osakavacuum大阪真空 涡轮分子泵

  • 产品型号:TG1810
  • 产品厂商:osakavacuum大阪真空
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简单介绍:
可提供耐腐蚀气体型分子泵 耐大气冲击能力强 耐外部振动 多种通信模式 符合**规格NRTL/SEMI-S2
详情介绍:

日本osakavacuum大阪真空 涡轮分子泵 TG1810

日本osakavacuum大阪真空 涡轮分子泵 TG1810

可提供耐腐蚀气体型分子泵
耐大气冲击能力强
耐外部振动
多种通信模式
符合**规格NRTL/SEMI-S2

用途

・半导体制造
・电子枪排气,离子源排气
・FPD制造
・表面处理,表面改质
・各种电子部件的制造
・管球制造,光学部件制造
・加速器,放射线设施,核聚变研究
・热处理
・研究开发
※无油工艺排气请选择TG-F系列、TG-M系列、TGkine系列


  • 规格
  • 外观尺寸表
  • 性能曲线
  • 控制器
吸气口法兰 VG250
ISO-B250
抽气速度 N2 (L/s) 1800
N2(附带金属保护网) (L/s) 1700
H2 (L/s) 1100
*大压缩比 N2 1×108
H2 3×103
极限压力 VG・ISO-B (Pa/Torr) <1×10-6/ <7.5×10-9
*大气体流量※1 N2 (sccm) 2444
启动时间 (min)  11-16
停止时间 (min) 23-28
允许辅助压力 (Pa / Torr) 270/2
推荐辅助泵 (L/min) 500
润滑油量 (mL) 260
安装角度 垂直(±10°)
重量 (kg) 80
  • ※1:辅助泵的容量是1000L/min情况下的*大容许流量
  • [ 使用环境温度]
  • 极限压力保证环境温度是10~23℃。另外,容许环境温度是10~40℃。极限压力保证冷却水温在30℃以下时容许冷却水温是10~35℃。
  • [ 对应气体种类 ]
  • 由于排气的气体种类不同,可能导致泵内零件的老化。


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日本osakavacuum大阪真空 涡轮分子泵 TG1810 北崎国际贸易(北京)有限公司

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