Name: 日本osakavacuum大阪真空 涡轮分子泵
Brand: osakavacuum大阪真空
SKU: TG350F

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第10年

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产品名称：日本osakavacuum大阪真空涡轮分子泵
产品型号：TG350F
产品厂商：osakavacuum大阪真空
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简单介绍：

***安装轻巧设计节能迅速启动使用破控功能可迅速停止耐大气冲击能力强多种通信模式符合**规格NRTL/SEMI-S2/CE

详情介绍：

日本osakavacuum大阪真空涡轮分子泵 TG350F

***安装
轻巧设计
节能
迅速启动
使用破控功能可迅速停止
耐大气冲击能力强
多种通信模式
符合**规格NRTL/SEMI-S2/CE
用途

半导体制造
电子枪排气，离子源排气
FPD制造
表面处理，表面改质
各种电子部件的制造
分析，试验装置
管球制造，光学部件制造
加速器，放射线设施，核聚变研究
热处理
研究开发
※排放腐蚀性气体时，请选择耐腐蚀性的TG-M，TG系列。

规格
外观尺寸表
性能曲线
控制器

吸气口法兰		VG100 CF100 ISO-R100
排气速度	VG/ISO-R・CF N2 (L/s)	350/330
	VG/ISO-R・CF N2(附加金属保护网) (L/s)	330/310
	VG/ISO-R・CF H2 (L/s)	210
*大压缩比	N2	1×108
*大压缩比	H2	2×103
极限压力	Pa/Torr	<1×10-6/<7.5×10-9
*大气体流量※1	N2 (sccm)	500
启动时间	(min)	2-2.5
停止时间	(min)	5-6.5
允许辅助压力	(Pa/Torr)	260/2
推荐辅助泵	(L/min)	≧80
安装角度		任意
重量	VG･ISO-R/CF(kg)	4.2/6