产品名称：TSI美国 带阀液体流量控制器

TSI美国进口 带阀的液体流量控制器 2950-05V
TSI美国进口 带阀的液体流量控制器 2950-05V

带阀液体流量控制器 2950V
型号：2950-01VTurbo™ 液体流量控制器 2950V 专为**的微电子应用而设计，可与 MSP 的 Turbo II™ 气化器配合使用，为半导体薄膜沉积工艺（包括 CVD、PECVD、ALD 和 MOCVD）提供****的液体源蒸汽输送性能。
产品详情
Turbo™ 液体流量控制器 2950V 采用定制设计的高精度、高速流量传感器和精心设计的流量控制电子设备。这些组件提供对先进半导体加工至关重要的***性能。
精密流量控制
2950 LFC 包含流量传感器和液体控制电子元件，用于控制 MSP 的 Turbo II™ 蒸发器上的压电阀。对于没有板载液体控制压电阀的蒸发器，可以使用 2950V 系列 Turbo™ LFC。
应用
半导体薄膜沉积工艺化学气相沉积 （CVD）
等离子体增强化学气相沉积 （PECVD）
Atmoic layer deposituion （ALD） （大气层沉积物 （ALD））
金属有机化学气相沉积 （MOCVD）
需要频繁调整流量的应用
特性和优势
**的流量控制和可调性
出色的精度和线性度
超快响应时间
**的可重复性
宽流量范围选项

提供 Turbo™ LFC 型号

♦使用 TEOS 作为参比液在 23±2°C 下测定的标称*大流量。 流量范围是指定液体的函数。