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产品资料

多功能型激光平面瞬间加热装置

多功能型激光平面瞬间加热装置
  • 如果您对该产品感兴趣的话，可以
  • 产品名称：多功能型激光平面瞬间加热装置
  • 产品型号：ExLASER
  • 产品展商：坂口电热
  • 产品文档：无相关文档
简单介绍
SAKAGUCHI 坂口 多功能型激光平面瞬间加热装置 ExLASER 特长 可以超高速升温降温 一次加热2英寸基板 只能对被加热对象物进行直接加热 能够根据工艺进行温度控制 不加热气氛，实现节能
产品描述

SAKAGUCHI 坂口多功能型激光平面瞬间加热装置ExLASER

SAKAGUCHI 坂口多功能型激光平面瞬间加热装置ExLASER

SAKAGUCHI 坂口多功能型激光平面瞬间加热装置ExLASER

用途例
MBE装置的基板加热
芯片退火（SiC、GaAS等）
可以进行多层结构设备的表层退火（适用于微细化设备）


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