HONDA本多高频石英振动体清洗机W-357-1MQG-SKC 联系人 卫经理
在这种方法中，通过在石英振动体上叠加超声波对半导体晶圆进行清洗。 与批量清洗和流水清洗相比，可以减少化学品的使用量，由于只有石英玻璃与液体接触，没有垫片等橡胶材料与液体接触，因此能保持较高的清洁度。 石英振动体有不同的形状，以适应不同的用途，能够根据需要进行有效的清洗，如低损伤清洗、大面积清洗、斜面（边缘表面）和缺口（晶圆边缘表面的缺口）的清洗等 对具有细微结构的晶片进行低损伤清洗 通过在石英振动元件上叠加超声波对半导体晶片进行清洗。 将超声波振动从石英振动元件通过化学溶液传播到半导体晶片上，接触区的化学溶液振动，加速去除表面污染。 清洁度高，对半导体晶圆的损害*小。 与使用橡胶材料（如垫片）的设备相比，使用石英与化学溶液接触，可以确保清洁，而不会有橡胶溶出。 振荡器冷却功能通过用气体（如氮气）冷却震荡器，可以实现稳定的连续工作，没有频率波动。 冷却还能确保没有温度的突然变化，从而延长使用寿命。 用途 胶体残留物的** 封边和灰化后的聚合物** 栅电极极清洗 CMP后的清洗