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产品资料

涡旋式干泵

涡旋式干泵
  • 如果您对该产品感兴趣的话,可以
  • 产品名称:涡旋式干泵
  • 产品型号:DIS-501
  • 产品展商:爱发科ULVAC
  • 产品文档:无相关文档
简单介绍
爱发科ULVAC涡旋式干泵DIS-501双绕式涡旋泵 低振动低噪音 联系人 卫经理 低中真空用真空泵 结构紧凑,排气量大
产品描述

爱发科ULVAC涡旋式干泵DIS-501双绕式涡旋泵 低振动低噪音  联系人 卫经理

爱发科ULVAC涡旋式干泵DIS-501双绕式涡旋泵 低振动低噪音  联系人 卫经理

爱发科ULVAC涡旋式干泵DIS-501双绕式涡旋泵 低振动低噪音  联系人 卫经理




  • 双绕式涡旋泵,含1 根轨道螺旋和2 根固定螺旋。
  • 可在大气压下实现操作运行。
  • 可实现高极限真空。
  • 低振动低噪音。
  • 维护周期可通过计时表控制。
    • 结构紧凑,排气量大。
    • 干式真空泵的*高压力水平。
    • 内置自动复位型热保护器(单相用)**设计。
    • 通过空气冲洗抑制水分凝结。

    用途

    • 分析设备
    • 气体回收系统
    • 涂装设备
    • TMP的背泵
    • 氦气检漏仪
    • 半导体制造工艺

    规格

    Unit 50Hz 60Hz
    设计排气速度度※1
    L/min 500 600
    极限压力
    Pa 1.0
    使用电动机※2
    单相 100/115/200/230V, 600W, 4P , 电容器启动・運転
    三相 200/208/230/380/400/415/460V, 600W, 4P
    全负荷电流
    单相 A 8.5/4.3/3.9
    (100/200/230V)
    10.0/8.6/4.8/4.0
    (100/115/200/230V)
    三相 2.7/1.57/1.57/1.63
    (200/380/400/415V)
    2.8/2.6/2.5/1.47
    (200/208/230/460V)
    重量
    单相 kg 44.0
    三相 38.0
    吸气口径
    KF-40
    排气口径
    KF-25
    使用环境温度范围
    5~40
    水蒸气处理量
    g/day ≦25以下(AF开时※3, 室温25℃, 湿度60%以下)
    噪音水平
    单相 dB ≦62(AF開時※3, ≦70)
    三相 ≦60(AF開時※3, ≦68)
    *大尺寸
    单相 mm 290(W)×443(L)×397(H)
    三相 292(W)×372(L)×397(H)



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