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产品资料

涡旋式干泵

涡旋式干泵
  • 如果您对该产品感兴趣的话，可以
  • 产品名称：涡旋式干泵
  • 产品型号：DIS-90
  • 产品展商：爱发科ULVAC
  • 产品文档：无相关文档
简单介绍
爱发科ULVAC涡旋式干泵DIS-90双绕式涡旋泵 低振动低噪音 联系人 卫经理
产品描述

爱发科ULVAC涡旋式干泵DIS-90双绕式涡旋泵 低振动低噪音  联系人 卫经理

爱发科ULVAC涡旋式干泵 DIS-90双绕式涡旋泵 低振动低噪音  联系人 卫经理

爱发科ULVAC涡旋式干泵DIS-90双绕式涡旋泵 低振动低噪音  联系人 卫经理



  • 双绕式涡旋泵、含1根轨道螺旋和2根固定螺旋。
    •可在大气压下实现操作运行。
    •可实现高极限真空。
    •低振动低噪音。

    •维护周期可通过计时表控制。

    • 结构紧凑，排气量大。
    • 干式真空泵的*高压力水平。
    • 内置自动复位型热保护器等**设计。
    • 通过空气冲洗抑制水分凝结。

    用途

    • 分析设备
    • 气体回收系统
    • 涂装设备
    • TMP的背泵
    • 氦气检漏仪
    • 半导体制造工艺

    规格

    Unit 50Hz 60Hz
    设计排气速度度※1
    		L/min 90 108
    极限压力
    		Pa (kPa) 5.0
    使用电动机※2
    		单相, 100/115/200/230V, 150W, 4P 电容器启动・運転
    全负荷电流
    		A 2.6/1.3/1.6
    (100/200/230V)     		2.1/2.2/1.1/1.1
    (100/115/200/230V)
    重量
    		kg 14.0
    吸气口径
    		KF-25
    排气口径
    		KF-16
    使用环境温度范围
    		℃ 5～40
    水蒸气处理量
    		g/day ≦5 以下 （AF開時※3, 室温25℃, 湿度60％以下）
    噪音水平
    		dB ≦52 （AF開時※3, ≦57）
    *大尺寸
    		mm 214(W)×308(L)×225(H)



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