一段式隔膜型干泵

爱发科ULVAC一段式隔膜型干泵DA-60S  联系人  卫经理

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膜片泵通过橡胶膜片的往复运动来形成真空。
泵体结构采用无油环境设计、因此维护简单。
根据您对压力和腔体的要求可以选择各种不同的泵速和双段/单段设计

• 价格低廉，销售量多的标准型干式真空泵。
• 气体接触区域不使用油的干式真空泵。
• 丰富的产品阵容可满足不同的应用需求。
• 单级排气系统比两级排气系统更快。
• 具有锁定保护和过流保护功能等**设计。
• 大气压下可以运作。

• 真空吸盘，晶圆和**处理设备。
  真空镊子，医疗器械。
  印刷设备。
  自动包装机。
  光学器具。
  半导体行业。
  注塑机。

• 	Unit	50Hz	60Hz
  有效排气速度	L/min	60	72
  极限压力※1	Pa (kPa)	21.3×103 （-80.0）
  使用电动机		单相, 100V, 200W, 4P, 分相启动
  全负荷电流	A	5.6	5.0
  重量	kg	11.0
  吸/排出孔（内螺纹尺寸）	mm	O.D.Φ9×I.D.Φ5 (Rc 1/4)
  使用环境温度范围	℃	7～40
  *大尺寸	mm	212(W)×278(L)×224.5(H)