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SURUGA骏河精机ES3701-L XYZ自动滑台平山卫18538758921

SURUGA骏河精机ES3701-L XYZ自动滑台平山卫

SURUGA骏河精机ES3701-L XYZ自动滑台平山卫

SURUGA骏河精机ES3701-L XYZ自动滑台平山卫

品名 自动滑台调芯单元
(3轴)
上方自由式:ES3700
L/R型 左型
自重[kg] 5.5
光轴高度[mm] 160
附件 滑台电缆
(D214-2-2E 3个)
安装螺丝
(内六角螺栓M6-12 4个)
移动量 移动量:X[mm] 50
移动量:Y[mm] 10
移动量:Z[mm] 50
移动量:θx[±°] 2.5
移动量:θy[±°] 2.5
分辨率 分辨率
:X[μm/脉冲](Full)
1
分辨率
:X[μm/脉冲](MS1/20)
0.05
分辨率
:Y[μm/脉冲](Full)
0.5
分辨率
:Y[μm/脉冲](MS1/10)
0.05
分辨率
:Z[μm/脉冲](Full)
1
分辨率
:Z[μm/脉冲](MS1/20)
0.05
分辨率
:θx[°/圈]
约0.58
分辨率
:θy[°/圈]
约0.57
组成 X EKT4-50R(※)
Y EKS2-10L(※)
Z EKT4-50L(※)
θx EB55-1L(θxy一体型)
θy EB55-1L(θxy一体型)
θz -
备注 ※ 调芯单元专用滑台。