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SURUGA骏河精机ES3701-L XYZ自动滑台平山卫18538758921
SURUGA骏河精机ES3701-L XYZ自动滑台平山卫
SURUGA骏河精机ES3701-L XYZ自动滑台平山卫
SURUGA骏河精机ES3701-L XYZ自动滑台平山卫
品名
自动滑台调芯单元
(3轴)
上方自由式:ES3700
L/R型
左型
自重[kg]
5.5
光轴高度[mm]
160
附件
滑台电缆
(D214-2-2E 3个)
安装螺丝
(内六角螺栓M6-12 4个)
移动量
移动量:X[mm]
50
移动量:Y[mm]
10
移动量:Z[mm]
50
移动量:θx[±°]
2.5
移动量:θy[±°]
2.5
分辨率
分辨率
:X[μm/脉冲](Full)
1
分辨率
:X[μm/脉冲](MS1/20)
0.05
分辨率
:Y[μm/脉冲](Full)
0.5
分辨率
:Y[μm/脉冲](MS1/10)
0.05
分辨率
:Z[μm/脉冲](Full)
1
分辨率
:Z[μm/脉冲](MS1/20)
0.05
分辨率
:θx[°/圈]
约0.58
分辨率
:θy[°/圈]
约0.57
组成
X
EKT4-50R(※)
Y
EKS2-10L(※)
Z
EKT4-50L(※)
θx
EB55-1L(θxy一体型)
θy
EB55-1L(θxy一体型)
θz
-
备注
※
调芯单元专用滑台。
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USHIO牛尾紫外线照度计UIT-250A光量计平山卫18538758921
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