写真化学光度法薄膜厚度计SHASHIN KAGAKU 纳加霍里科技（深圳）有限公司

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产品名称：写真化学光度法薄膜厚度计SHASHIN KAGAKU
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紧凑型薄膜厚度监测仪是一种使用小型反射探头的反射分光光度法薄膜厚度计，适用于从实验室级别到生产过程中在线 100% 检查的所有情况。它具有出色的可维护性，可用于集成到工艺设备和生产线管理中。
*多可同时测量 9 种透明薄膜。
它可以用作各种多层薄膜工艺的在线或终点监视器。
紧凑型探头可以安装在工艺工具内部的狭小空间内。也可以使用 EMA 理论来判断混合层的混合比或多晶硅的结晶度。