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NKS长野计器半导体行业兼容ZT17_200°C高温压力传感器
日期:2026-05-16 11:24
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摘要:
NKS长野计器半导体行业兼容ZT17_200°C高温压力传感器
特长
200°C的高温测量搭载新开发的压敏传感器元件,支持200°C测量。
实现高精度高温测量
温度特性
零点误差:士1.0%满量程,量程:土3.0%满量程,(温度补偿范围15~200°C),将测量气体滞留降至*低,
适用于气体供给系统的焊接结构及特殊表面处理技术
使用温度范围
应用领域
鼓风机
气缸柜
蚀刻装置
高纯度气体·半导体材料气体...
NKS长野计器半导体行业兼容ZT17_200°C高温压力传感器

特长
200°C的高温测量搭载新开发的压敏传感器元件,支持200°C测量。
实现高精度高温测量
温度特性
零点误差:士1.0%满量程,量程:土3.0%满量程,(温度补偿范围15~200°C),将测量气体滞留降至*低,
适用于气体供给系统的焊接结构及特殊表面处理技术
使用温度范围
应用领域
鼓风机
气缸柜
蚀刻装置
高纯度气体·半导体材料气体(含有毒气体)
成膜装置
洗净装置
离子注入装置气体供应:压力计·压力传感器调整弁切换阀阀门手动控制箱
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