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NKS长野计器半导体行业兼容ZT17_200°C高温压力传感器

日期:2026-05-16 11:24
浏览次数:29
摘要: NKS长野计器半导体行业兼容ZT17_200°C高温压力传感器 特长 200°C的高温测量搭载新开发的压敏传感器元件,支持200°C测量。 实现高精度高温测量 温度特性 零点误差:士1.0%满量程,量程:土3.0%满量程,(温度补偿范围15~200°C),将测量气体滞留降至*低, 适用于气体供给系统的焊接结构及特殊表面处理技术 使用温度范围 应用领域 鼓风机 气缸柜 蚀刻装置 高纯度气体·半导体材料气体...

NKS长野计器半导体行业兼容ZT17_200°C高温压力传感器


特长

200°C的高温测量搭载新开发的压敏传感器元件,支持200°C测量。

实现高精度高温测量

温度特性
零点误差:士1.0%满量程,量程:土3.0%满量程,(温度补偿范围15~200°C),将测量气体滞留降至*低,

适用于气体供给系统的焊接结构及特殊表面处理技术

使用温度范围
应用领域
鼓风机
气缸柜
蚀刻装置
高纯度气体·半导体材料气体(含有毒气体)
成膜装置
洗净装置

离子注入装置气体供应:压力计·压力传感器调整弁切换阀阀门手动控制箱

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