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产品详情
日本OTSUKA大塚 滤光片光刻胶测量装置
- 产品名称：日本OTSUKA大塚 滤光片光刻胶测量装置
- 产品型号：LCF series
- 产品厂商：日本OTSUKA大塚
- 产品文档：
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简单介绍
日本 OTSUKA 大塚 LCF 系列彩色滤光片与彩色光刻胶专用测量装置，一站式集成色度、光谱、膜厚、OD 遮光浓度、像素线宽多维度检测。搭载 CCD 视觉自动像素对位与自动对焦，微小光斑精准测量单颗 RGB 微像素，220–1600nm 宽波段分光系统保障彩色胶层厚度与色彩高精度解析。全系列机型覆盖实验小片至 G10 代超大玻璃基板，全自动 XYZ 载台实现整片基板 Mapping 扫描，智能软件对接工厂 MES 系统。广泛用于 LCD/OLED 彩色滤光片、RGB 光刻胶、黑矩阵 BM 制程在线质控，高效管控色差、膜厚均匀性，稳定提升彩膜面板良率
日本OTSUKA大塚 滤光片光刻胶测量装置
的详细介绍一、产品概述
LCF 系列是大塚电子专为CF 彩色滤光片、RGB 彩色光刻胶制程打造的一体化分光综合检测系统，覆盖实验室台式机型与 G1~G10 代全自动量产在线机型，集成显微分光、色度解析、膜厚测算、光学密度 OD 检测一体化功能大塚电子(苏州)有限公司。
一站式完成彩色基板全制程品质管控，适配 LCD、OLED、Mini/Micro LED 彩膜基板，可精准测量单颗 RGB 微像素、黑矩阵 BM、光刻胶涂层光学与厚度参数，是彩膜涂布、曝光、显影、后段检验核心量测设备。
二、核心优势
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一机多参数，覆盖彩膜全工序检测
同步实现透射光谱、色度、色差、OD 遮光浓度、光刻胶膜厚、反射率、像素线宽七大检测项目，单台设备替代多台分光、测色、膜厚设备，大幅缩减产线设备投入与洁净室占地大塚電子。
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CCD 视觉像素自动对位 + 自动对焦
搭载高清显微视觉系统，自动识别微米级 RGB 像素单元，AF 自动对焦消除基板翘曲、高度差带来的测量误差；微小光斑精准锁定单一子像素，杜绝相邻色彩干扰，微区测量精度行业**。
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全尺寸基板全系列机型覆盖
LCF 分多规格型号，从小尺寸 50mm 实验片至 10 代 1300×1800mm 超大玻璃基板全覆盖，分为紧凑型台式（研发实验室）、离线半自动、产线全自动 Inline 机型，灵活匹配研发、抽检、量产全场景。
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宽波段高精度分光检测
220–1600nm UV-VIS-NIR 多通道分光光路，彩色光刻胶膜厚解析稳定，BM 遮光层 OD 值重复误差极小；内置彩膜专用材质数据库，一键拟合多层彩色胶层厚度与光学常数 n/k。
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全自动量产适配，数据闭环管控
支持 Recipe 工艺程序批量存储，XYZ 伺服载台全域自动扫描，生成整片基板色度、膜厚、OD 分布云图；软件兼容工厂 MES/PLC，自动统计色差、均匀性报表，超差点位标记溯源，适配 7×24 小时无尘产线连续运行。
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无损非接触光学测量
透射 + 反射双模式光学检测，不划伤彩色光刻胶、滤光片像素，高价值基板可重复检测，无耗材损耗。
三、全系列机型适配基板尺寸
表格
| 机型 | *大基板尺寸 | 适用场景 |
|---|---|---|
| LCF-1500M | 50×50mm~400×450mm | 实验室研发、小尺寸样品抽检 |
| LCF-2100 | 400×450mm | G1~G2 中小尺寸面板离线检测 |
| LCF-2500 | 550×650mm | G3~G4 手机 / 车载屏产线 |
| LCF-3100/4100 | 680×880/730×920mm | G5~G6 高中小尺寸量产线 |
| LCF-5100/7000 | 1100×1300/1300×1800mm | G7~G10 TV 大尺寸基板 Inline 全检 |
