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机油压力传感器的工作原理

机油压力传感器的工作原理：
机油压力传感器是利用压阻效应原理，采用集成工艺技术经过掺杂、扩散，沿单晶硅片上的特定晶向，制成应变电阻，构成惠斯通电桥，利用硅材料的弹性力学特性，在同一硅材料上进行各向异性微加工，制成了一个集力敏与力电转换检测于一体的扩散硅传感器。通常机油压力传感器芯片上制作有4个多晶硅电阻，电阻制作在硅薄膜的边沿位置，是因为在薄膜的边沿处，当薄膜受到作用力时，应变引起的电阻变化*大。

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