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复合量程微加速度计动态特性分析

　　随着硅微机械技术的不断发展，基于压阻原理的微加速度计已成为商品。因为硅的机械性能优良，这些微加速度计往往具有较高的抗过载能力。然而，有些物理过程存在相差上百倍的多个加速度值需要测量，需要测试的过载值从几g到上万g，若在整个过程使用高g 值加速度计进行测量和控制，它对低g值信号不敏感；若使用低量程加速度计，则不能**测量高过载信号；若使用2个加速度计进行测量控制，因为安装位置的不同，使其测得的信号会产生位置差别，而且2个传感器都存在安装差别。因此抗高过载复合量程加速度计更适合现代发展的需求。

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