所谓[动线]，是指人员、原料之入室路线，与人员与成品的出室路线。规划时，要检讨分析人(车)路径、配管系统、排气管道、原料搬运和作业之流程等，尽量缩短动线，并避免交叉，以防止交叉污染(CrossContamination)。要点：
1． 作业者、材料、化学药品等动线勿集中。2． 制造装置之出入，需不对作业产生大影响。3． 超洁净室四周，宜设缓冲区(即较差洁净区)。