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精密平台的制作特点

精密平台：
         一种五自由度精密定位平台，采用压电驱动器驱动，其特征在于该平台由基体及其底部的**支座和**支座构成，该基体包含**动平台、**动平台和第三动平台，其中**动平台实现x方向平动，**动平台实现y方向平动，第三动平台实现z轴转动，**支座和**支座单独伸长，通过伸长量的同异带动基体实现z方向平移和一维转动，
         所述的第三动平台分别通过**转动副柔性铰链和**转动副柔性铰链与底部的**支座和**支座连接。本发明五自由度精密定位平台，可以实现纳米级的定位精度，而且具有易于加工、结构紧凑、体积小、位移分辨率高、频率响应快和控制简单的特点。
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