不同元素特征X射线能量各不相同，依此运行定性分析；再根据特征X射线刚度大小，可运行定量分析。
In(n=1,2,3…)就是第n号元素释放的特征X射线刚度
可用函数关系式就是为：C=f(k1I1, k2I2, k3I3...)
式中：Kn(n=1,2,3…)就是第n号元素的待定系数
由此可知只需通过标定确定系数Kn之后便可运行物质中元素的定量分析了。