产品目录

当前位置：首页 >>> 技术文章 >

技术文章

X射线光电子能谱仪新进展

X射线光电子能谱仪由于其结构复杂、体积庞大和价格昂贵等因素在历届BCEIA会议上都没有实物展出，而基本上是以图片、样本和技术报告的形式参展。随着我国国民经济的不断发展，对电子能谱仪的需求也不断增加。尤其是2003年以来，每年都有十几台不同型号的电子能谱仪被引进。电子能谱仪已从象牙塔走向我国的科研、教学、生产和检验等诸多领域。经历近30年，电子能谱仪的各项功能和相关技术有了长足进展。上世纪九十年代，小面积XPS、成像XPS和角分辨XPS发展较快。*近几年，在进一步提高检测灵敏度、改善荷电效应、分析功能化和智能化等方面有较大发展。目前，生产电子能谱仪的主要厂家有：岛津-KRATOS公司；热电-VG公司；日本电子公司；北京汇德信Omicon公司；日本真空-PHI公司等。简述如下：

1.  高性能综合型光电子能谱仪：

岛津-KRATOS公司的AXIS ULTRA DLD是高性能综合型光电子能谱仪。它将**的磁沉浸透镜和荷电中和系统与球镜分析器和同心半球分析器集成在一起。组合了*新研发的延迟线探测器（DLD）用于成像与采谱。其主要特点有：

◇    采用平均半径165mm的半球型扇形能量分析器（Hemispherical Sector Analyzer，HSA）和球镜能量分析器（Spherical Mirror Analyzer，SMA）。提高光电子的传输效率，增加能量分辨力。
◇    罗兰圆直径500mm的大束斑Al单色X射线源和内置扫描板的多组元静电透镜。不移动X射线照射束斑和样品，通过直接改变光电子的采集区域达到选区分析的目的。只要保证加在扫描板上的偏压电路保持稳定，则采样区域的重复就可以得到保证。

◇    **的磁沉浸透镜和**的低能电子荷电中和系统。由于大面积的X射线照射使得光电子发射相对分散，而且螺旋状升降的电子云会全方位地补偿荷电效应，从而可以在操作上只需设置一个“普适”的中和参数，就可以适用于99%以上的绝缘样品。

◇    采用了128通道的高效率二维位敏检测器——延迟线检测器（Delay-Line Detector），使得该仪器采谱和成像的性能都得到了极大的提升。

热电-VG公司的ESCALAB250 是高性能综合型光电子能谱仪。其具有研究型仪器的高性能和灵活性，可以配置多种附件和功能，但操作使用比较复杂，价格比较高（约80多万美元以上），适合研究单位和具有一定基础和经验的单位使用。主要功能和特点：

◇ 实时化学成像-*佳空间分辨率优于3μm

◇ 源限定（120μm-650μm）与透镜光阑限定（20-120μm）的大小面积XPS分析

◇ 优化的仪器设计和技术实现在高能量分辨下的高灵敏度XPS能谱分析

◇ XPS 深度剖析-先进的微聚焦X-射线单色器结合高性能离子枪即可进行低能量高深度分辨的浅剥离，又可进行大束流密度的快速深度剖析。

◇ 标准主机配置还包含离子散射谱分析ISS

◇ 提供灵活的各种附件选件-为满足多种研究需求的用户，标准主机配置外还可提供其它表面分析和样品制备功能的选件，如场发射俄歇电子枪（AES/SAM）、紫外光电子谱（UPS），样品断裂台、冷却和加热、气体反应室等

◇ **的真空系统和性能

◇ 先进的专业表面分析软件AVANTAGE数据系统，WINDOWS XP操作系统。

2.  智能化光电子能谱仪

热电-VG公司生产的K-Alpha是新一代智能化的光电子能谱仪。它具有结构简洁一体化、性能先进实用、操作使用和维护维修简单方便，仪器高智能化高自动化、可靠性稳定性好、高分析通量、低成本低、低能耗等特点。它既适于研究单位分析测试需求，也适于公司企业的产品开发质量监控等要求，是一台可以推广和普及到各个领域的大众化的光电子能谱仪。具有下述主要功能和特点：

◇ 高性能单色化XPS分析

Ø        先进的微聚焦单色器使得仪器灵敏度和化学态分析精度两者*佳化。

Ø        “快照”采集方式应用于XPS快速刻蚀和成像。128多通道探测进一步提高了灵敏度，并可以对于微小特征分析和XPS成像。

Ø        定量化的XPS成像-在每一个象素点包含一个谱，对其峰拟合可再现化学态空间分布。

Ø        先进的电荷中和技术用于处理各种绝缘样品。

Ø        配置高亮度、低能量离子源产生高质量的组分深度剖析，低能量溅射结合同轴旋转产生**深度分辨率的深度剖析。

◇ 智能型和全自动化操作

Ø        K－Alpha能谱仪是世界上**台从进样到产生分析报告可实现高智能化和全自动操作和分析过程的XPS能谱仪。

Ø        三种工作模式-给用户*大的灵活度，方便不同环境和水平的用户使用

Ø        高效、高分析通量-*大限度地发挥仪器使用效率

Ø        提高仪器可靠性和使用的**性。

◇ 独特的双光源样品照明方式-确保清晰观察和定位各种样品

◇ **的样品导航系统和定位系统-使用者可以方便、直观、准确地确定被分析位置

◇ 独特的谱仪自动标定和校正功能-可随时标定仪器性能，使谱仪长期稳定地保持在*佳性能状态

◇ 世界**水平的Thermo Avantage专业表面分析数据系统，可多用户、远程控制。

◇ 仪器容易操作、容易维护、

◇ 一体化设计、经济实用

3.  功能化光电子能谱仪

热电-VG公司的Theta 系列光电子能谱仪是先进独特的平行角分辨光电子能谱仪。它除了具备常规XPS分析功能外，独特地是高灵敏度微区XPS分析和**技术的平行角分辨X光电子能谱技术（ARXPS）。它还可提供1-8nm层内单层和多层超薄薄膜厚度、均匀性、纯度、半导体掺杂浓度随深度分布的信息！角分辨X-光电子能谱技术是非破坏性的深度分析。这一新技术的应用为研究超薄薄膜、大尺寸半导体片子和微电子器件等领域增添了新型有力工具。主要型号有Theta Probe、Theta 300、Theta 300XT。主要特点如下：

◇ 采用VG发明的**的快速平行角分辨XPS技术，无需倾斜样品台即可在样品上原位同时获得多角度（*多96个角度）的角分辨XPS信息，即1-10nm层不同深度的信息。它可快速准确地提供超薄薄膜（<10nm）表面成分和价态、膜厚度和均匀性信息，掺杂浓度和随深度的分布信息。
◇ 先进的微聚焦单色化X-射线源，X-射线束斑可在15μm至400μm范围调节

◇ *小分析微区优于15μm；提高了谱分析的信噪比和能量分辨率

◇ 标准主机包含小面积XPS分析（15μm至400μm范围）, 深度剖析、XPS Mapping 等项功能
◇ 独特的样品定位系统，可以方便、直观和准确地确定样品被分析区域。这对微区XPS分析十分重要
◇ 新型高效中和枪，自动中和，使得绝缘样品分析更加简单方便
◇ 全自动五轴样品台，可计算机控制进行多点、多样品的自动样品分析
◇ 灵活的样品操纵能力-可一次送入多个样品，或大尺寸样品（直径100mm）
◇ 具备多种表面分析功能能力，系统可装配双阳极X-射线源（用于大面积XPS分析）、场发射AUGER电子枪（AES/SAM）和  UV源（UPS），样品加热/冷却等功能
◇ 高性能深度剖析－可进行表面与界面、三维成分深度分布分析
◇ VG先进的专业表面分析软件AVANTAGE，WINDOWS XP 操作系统

此外，还有日本真空-PHI公司的PHI Quantera SXM 200型和北京汇德信Omicon公司的ESCA+ 型X射线光电子能谱仪等。

上一篇：显微镜油镜的维护与使用方法介绍
下一篇：酸度计的级别及准确度

若网站内容侵犯到您的权益，请通过网站上的联系方式及时联系我们修改或删除