美國聯邦標準209D潔淨室規格

級數

粒子大小

粒子數目

壓力

溫度℃

風速或換氣率

照度

um

Particles/ft³

mmAg

範圍

推薦值

誤差值

次/hr

lux

1

≧0.5

≦1

＞1.3

19.4~25

22.2

±2.8　

特

殊

需

求

±1.4

層流方式

1080

~

1620

≧5.0

0

10

≧0.5

≦10

≧5.0

0

100

≧0.5

≦100

≧5.0

≦1

1,000

≧0.5

≦1000

亂流方式

≧20次/hr

≧5.0

≦10

10,000

≧0.5

≦10000

≧5.0

≦65

100,000

≧0.5

≦100000

≧5.0

≦700