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洁净室正压控制规范

发布时间:2010-10-13

洁净室正压控制规范

洁净室必须维持一定的正压。不同等级的洁净室以及洁净区与非洁净区之间的静压差,应不小于0.5毫米水柱(5pa),洁净区与室外的静压差,不应小于1.0毫米水柱(10pa)。万级及十万级车间室内压差不小于0.2-0.3毫米水柱(2-3Pa);

洁净室维持不同的正压值所需的正压风量,宜按下式计算:

`Q=A·SUM(Q·L)`

(5.2.2)


式中Q——维持洁净室正压值所需的正压风量(米3/时);
A——
根据围护结构气密性确定的**系数,可取1.1-1.2
Q——
当洁净室为某一正压值时,其围护结构单位长度缝隙的渗漏风量(米3/·米);

L——围护结构的缝隙长度(米)。

围护结构单位长度缝隙的渗漏风量

 

 

 

 

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