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霍尔压力传感器的结构及工作原理1

霍尔压力传感器的结构及工作原理1

 霍尔压力传感器是基于某些半导体材料的霍尔效应制成的。当磁场为一交变磁场时,霍尔电动势也为同频率的交变电动势,建立霍尔电动势的时间极短,一般只要10-12~10-4S,故其响应频率高,可达100MHz。霍尔元件为四端元件,两端用于输入激励电流,两端用于输出霍尔电动势。

  理想霍尔元件的材料要求要有较高的电阻率及载流子迁移率,以便获得较大的霍尔电动势。常用霍尔元件的材料大都是半导体,包括N型硅(Si)、锑化铟(InSb)、砷化铟InAs)、锗(Ge)、砷化镓GaAs)

及多层半导体质结构材料,N型硅的霍尔系数、温度稳定性和线性度均较好,砷化镓温漂小,目前应用

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