电容式压力传感器的结构及工作原理

电容式压力传感器的结构及工作原理
 单电容平板压力传感器的结构及工作原理

  电容式传感器分为极距变化型、面积变化型，当被测参数的变化通过这三种情况之一直接影响电容量的大小时，检测出电容的变化时就等于获得了被测参数的大小，电容式压力传感器常采用极距变化型。压力使传感器**的可动部件即测量膜片极板产生微小的位移，造成与固定极板所形成的电容量发生变化
。

2双电容平板差动型压力传感器的结构及工作原理

  为提高灵敏度和减小非线性，大多压力传感器休用双电容平板差劲结构，可动极板位于两块固定板极之间，与两固定极板等距离，当压力使可动极板向上移动时，引起差动电容增大，减小。

与单电容式压力传感器相比，不仅灵敏度提高，非线性误差也变小了，可见差动式压力传感器优于单电容压力传感器。