真空度测试仪的研制原理及技术简介
真空度测试仪的主要作用是根据磁控放电的方法测量真空泡内离子电流,以此量测量泡内真空度,并可用于评定真空泡使用寿命。该测试仪既可用于真空泡出厂检测流水线,也可单独进行测量。
基本工作原理
磁控放电法测试真空度的基本原理如下：将真空泡两触头拉开一定的开距,并置于通有大电流的螺线管内,在两触头间施加高压脉冲,从而在真空泡内产生高压电场和轴向脉冲磁场。这样,在脉冲强磁场和强电场的作用下,真空泡中的电子作螺旋运动,并与残余气体分子发生碰撞产生电离,生成的离子电流与残余气体密度即真空度近似成比例关系。
研制的真空度测试仪可用于测量泄漏电流、全电流和离子电流3个电流值。
(1)泄漏电流。将真空泡动静触头拉开一定的间距,并加高压直流脉冲电压,则会在两触头间、触头和屏蔽罩间产生强电场。根据场致发射理论,阴极和屏蔽罩表面会发射出电子,向阳极运动,形成电流,即泄漏电流。由于电子的自由行程远远大于两触头间距,电子几乎不与真空泡内残余气体分子发生碰撞,所以泄漏电流不能正确反应真空泡的真空度。
(2)全电流。为了使泄漏电流的电子能够与残余气体分子发生碰撞,目前常用的方法是在轴向上加一较强的磁场,使得场致发射的电子在电场和磁场的共同作用下发生螺旋运动,这加大了电子运动的行程及与残余气体分子发生碰撞的概率。当电子与残余气体分子发生碰撞后会产生电离现象,并形成稳定的自持放电,这时测量出的电流值为全电流值。
(3)离子电流。全电流的测量值包括了阴极和屏蔽罩发射的泄漏电流,以及残余气体被碰撞后产生电离的离子电流。为了准确测量真空泡内的真空度,还得从全电流中减掉泄漏电流值,得到的才是真正反映真空泡真空度的离子电流值。真空泡使用寿命评定原理:真空泡随着正常使用时间的增长,内部真空度也呈线性增加。通过测定两个间隔时间比较恰当时的真空度,就可确定其变化率,从而确定使用过任意时间后真空泡真空度的大小。
ZKY-2000真空度测试仪（免拆卸无磁控线圈）
产品描述：
实现了真空灭弧室的免拆卸测量，直接显示真空度值，使真空断路器用户详细掌握灭弧室的真空状态，为有计划地更换灭弧室提供了可靠的依据，为电网的**运行提供了有力保障，克服了工频耐压法仅能判断灭弧室是否报废的缺陷。
技术参数：
1.真空度测量范围： 9.999×10-1～1×10-5
2.离子电流测量范围：9.999×10-1～1×10-7
3.测 量 误 差： ＜5%
4.测 量 分 辨 率： 10-5pa
5.环 境 温 度： -20℃～50℃
6.空 气 湿 度： ≤80%RH
7.工 作 电 源： AC 220V，50Hz±10%
8.外 型 尺 寸： 420×290×210（mm）
9.高 压 输 出： 脉冲≤4kV15kHz
⒑重 量： 8kg
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