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洁净室技术规范1
洁净室技术规范1
附录A 洁净厂房生产工作间的确火灾危险性分类举例
表A 洁净厂房生产工作间的火灾危险性分类举例
生产类别
 
举例
 
 
 
甲
微型轴承装配的精研间、装配前的检查间
精密陀螺仪表装配的清洗间
磁带涂布烘干工段
化工厂的丁西酮、丙酮、环乙酮等易燃易溶剂的物理提纯工作间（光荣致抗蚀剂的配制工作间）
集成电路工作的化学清洗间（使用闪点小于28℃易燃液体者）、外延间常压化学气相沉积间和化学试剂贮存间
乙
胶片厂的洗印车间
 
丙
计算机房记录数据的磁盘贮存间
显像管厂装配工段烧枪间
磁带装配工段
集成电路工厂的氧化、扩散间、光刻间

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