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洁净室技术标准找百鑫净化赵生
洁净室技术标准找百鑫净化赵生13530443595
3 空气洁净度等级
3.0.1 洁净室及洁净区内空气中悬浮粒子洁净度等级应按表3.0.1确定。
表3.0.1 洁净室及洁净区空气中悬浮粒子洁净度等级
空气洁净度等级（N）
 
大于或等于表中粒径的*大浓度限值（pc/m3）
0.1 um
0.2 um
0.3 um
0.5 um
1 um
5 um
1
10
2
 
 
 
 
2
100
24
10
4
 
 
3
1000
237
102
35
8
 
4
10000
2370
1020
352
83
 
5
100000
23700
10200
3520
832
29
6
1000000
237000
102000
35200
8320
293
7
 
 
 
352000
83200
2930
8
 
 
 
3250000
832000
29300
9
 
 
 
35200000
8320000
293000
注：①每个采样点应至少采样2次。
②本标准不适用于表征悬浮粒子的物理性、化学性、放射性及生命性。
③根据工艺要求确定1~2倍粒径。
3.0.2 空气洁净度等级所处状态（空态、静态、动态）应与业主协商确定。
3.0.3 空气洁净度的测试方法按附录C要求进行。
 
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