Simcoion 在线式氮气离子izer 型号4214（适配扩展ISO Class1、10nm）

本产品属于在线式离子izer系列，可在高纯度氮气环境下适配扩展ISO Class1、10nm的高洁净度要求，同时能实现优异的离子平衡效果，适用于**半导体制造等对颗粒控制要求严苛的超低颗粒应用场景。

产品特点

适配超低颗粒应用需求，搭载单晶硅电极；
配备独有洁净机构，无颗粒向外释放，可保障设备长期维持稳定的洁净度；
搭载智能控制回路，设备使用过程中无需进行任何调试操作；
内置传感器，可对离子发生状态进行持续监测，实现稳定的除电效果；
采用控制器与电源集成的一体式设计，设备整体结构紧凑；
具备低流量时自动高电压关断功能，可对设备形成保护；
适配**半导体制造工序及其他各类超低颗粒应用场景；
采用24V直流电压驱动。

技术规格

参数	规格
输入电压	24V DC±5%，典型功耗6W
离子平衡	<±25V（150mm距离、40LPM流量、无配管连接）
除电时间	<10sec（150mm距离、40LPM流量、无配管连接；±1kV→±100V，带电平板监测）
离子发生方式	电晕放电式、高周波AC方式
洁净度	ISO Class1（0.1微米）、扩展ISO Class1（10nm）
电极	单晶硅材质，支持更换
对应吹扫气体	氮气（纯度＞99.998%）
流量	40LPM(36.5Kpa)～90LPM(171kpa)
*大吹扫压力	207Kpa（对应100LPM流量）
*大气体温度	60℃
N2吹扫连接	Swagelok3/8" OD配管
离子化N2连接	1/4NPT内螺纹连接器；或通过选配件接头28-25710-SC接Swagelok1/2"OD配管
使用温度范围	15～60℃
信号输出	通过通/断接点实现警报及离子量降低信号输出
尺寸	长152.4mm × 宽72.4mm × 深32mm（不含配管部）
重量	640g
外装	不锈钢材质
安装方法	背面M5螺纹固定，螺纹长度需小于10mm

扩展ISO Class1,10nm说明

该洁净度标准是ION Systems为适配微小颗粒管理需求所制定的独有洁净度定义。ISO14644-1标准的*小定义粒径为100nm，扩展ISO Class1,10nm则沿用ISO14644-1标准中相同的允许颗粒数计算公式，其10nm及以上粒径的允许颗粒数为1200pc/m³（34pc/ft³）。

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Simcoion 在线式氮气离子izer 型号4214（适配扩展ISO Class1、10nm）

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